Cámaras de pulverización y de reacción de cuarzo fundido

  • Clear Fused Quartz spray chamber with an integrated angled inlet arm and internal structure

    • Cámaras de pulverización y de reacción de cuarzo fundido

    Cámaras de pulverización y de reacción de cuarzo fundido diseñadas para procesos de semiconductores, químicos y de laboratorio de alta pureza. Construidas a partir de sílice fundido de ultra alta pureza y ensambladas mediante fusión por llama de precisión, estos recipientes ofrecen una excelente inercia química, estabilidad térmica y un control limpio y preciso del suministro de gas y líquido, la mezcla y el tiempo de residencia en entornos críticos.

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    Datos necesarios para una cotización

    • Dibujo (PDF/STEP) o dimensiones clave. Diámetro/altura del recipiente, espesor de la pared y la forma de la tapa abovedada/plana
    • Puertos y conexiones: cantidad, ubicaciones y tamaños; tipo de junta (cónica/bola-copa), conexión para manguera con reborde, o brida KF/ISO/CF
    • Características internas: tipo de boquilla de pulverización, tubo de inmersión o difusor, tabiques/mezcladores, distribuidores de flujo, geometría de drenaje y sumidero
    • Condiciones de proceso: químicos/gases, caudales de flujo objetivo, vacío/presión admisible, temperatura máxima, nivel de limpieza
    • Instrumentación/ventanas: termowell, visor/ventana de observación, puerto de muestreo; requisitos de ranura para O-ring o superficie de sellado
    • Tolerancias críticas: planitud y paralelismo de las caras de sellado; concentricidad y desviación respecto al eje de cuellos y puertos
    • Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección necesarios y nivel de embalaje

    Especificaciones clave

    • Material: cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado del material disponible a petición
    • Configuraciones: Cámaras cilíndricas o de domo esférico; tapas simples o de múltiples puertos. Colectores integrados o risers; opciones de drenaje o sumidero.
    • Conexiones: Juntas de vidrio pulido, unión bola-copa, rebordes para manguera, bridas KF/ISO/CF o adaptadores personalizados
    • Hardware interno: Boquillas/inyectores de pulverización, tubos de inmersión, difusores/spargers, tabiques, alineadores de flujo—según el dibujo
    • Construcción: Maquinado de precisión con transiciones fundidas por llama; recocido de alivio de tensiones disponible.
    • Superficies y limpieza: Superficies mojadas, lisas y sin astillas; limpieza ultrasónica/DI; embalaje compatible con Class-100
    • Nota de servicio: Diseñado para servicio de vacío o a baja presión. Cualquier clasificación de presión depende del diseño y de las pruebas.

    Propiedades del material (típicas)

    • Resistencia química excepcional y bajos extractables (nota: HF ataca al cuarzo fundido)
    • Muy baja expansión térmica con buena tolerancia al choque térmico
    • Aislante eléctricamente, ópticamente claro y con bajo desprendimiento de gases. Ideal para servicios de alta pureza.

    Notas de procesamiento y diseño

    • Utilice radios generosos en las uniones para reducir las tensiones y las trampas de partículas. Pule las superficies mojadas para minimizar el desprendimiento de partículas
    • Defina el patrón/ángulo de pulverización, el tamaño objetivo de las gotas y los objetivos de tiempo de residencia al especificar boquillas y tabiques
    • Agregar ventilación en cavidades ciegas y en elementos roscados para evitar fugas virtuales en servicio de vacío
    • Proporcione la pendiente de drenaje y la geometría del sumidero para evitar la retención de líquido; considere características anti-reflujo cuando sea necesario
    • Seleccione los estándares de conexión que correspondan a su fontanería aguas abajo y a sus prácticas de mantenimiento.
    • Podemos asesorar tolerancias prácticas para la planitud de la cara de sellado, la concentricidad del puerto y el alineamiento, basadas en el tamaño y la geometría.

    Inspección y ensayos

    • Verificación dimensional: tamaño del recipiente, posiciones de puertos, concentricidad del cuello y geometría de la cara de sellado.
    • Pruebas opcionales: prueba de fuga de helio (ensamblajes al vacío). Prueba de flujo/retención o de decaimiento de la presión según el diseño
    • Inspección visual: verificación al 100% de astillas, microfisuras, inclusiones y contaminación.
    • Evaluación opcional de biréfringencia y tensión y certificación de limpieza

    Aplicaciones

    Rociado y mezcla de precursores para ALD/CVD, rociado químico húmedo, grabado y enjuague, contacto vapor-líquido, microreactores, depuración de gases y sistemas analíticos/de laboratorio que requieren alta pureza y acceso visual

    Embalaje y almacenamiento

    Tapas protectoras en los puertos; empaque antiestático al vacío con espuma amortiguadora y protección externa rígida. Mantenga seco (<40% de humedad relativa) a 10–30 °C y alejado de sustancias químicas que contengan HF.

    Notas
    Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
    Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor

    Consulta rápida

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