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Cubiertas de anillos de cuarzo fundido y placas protectoras
Cubiertas de anillos de cuarzo fundido y placas protectoras para equipos de semiconductores, sistemas de vacío y ensamblajes ópticos. Fabricadas con sílice fundida de alta pureza y maquinadas de acuerdo con su dibujo, estos componentes transparentes ofrecen una excelente claridad óptica, estabilidad térmica, inercia química y un ajuste preciso, proporcionando un sellado fiable, protección contra salpicaduras y acceso visual en entornos sensibles.
Datos necesarios para una cotización
- Dibujo (PDF/STEP) o dimensiones clave: Ø exterior, Ø interior/apertura, espesor
- Patrón de pernos Ø (BCD), orificio Ø/cantidad, ranura o estilo de holgura, detalles de avellanado/cajeado
- Características de sellado: tamaño/posición de la ranura para junta tórica, ancho y acabado de la cara de sellado, interfaz de la junta tórica
- Opciones funcionales: zona de ventana de observación, rebordes elevados/escalonados, muescas/llaves de alineación, orificios de ventilación para evitar fugas virtuales
- Condiciones de operación: nivel de vacío/presión, productos químicos, temperatura, objetivo de limpieza
- Tolerancias críticas: planicidad, paralelismo, concentricidad/desviación; calidad de la superficie en las áreas de sellado y ópticas
- Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección obligatorios, nivel de embalaje
Especificaciones clave
- Material: Cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado de material disponible a solicitud
- Geometría: Tapas de anillo redondas o poligonales, rosquillas, placas completas con abertura central; ensamblajes de una sola pieza o de varias piezas según el dibujo
- Dimensiones: Conforme al dibujo (hecho a medida); espesor uniforme de la sección para la estabilidad térmica
- Bordes y superficies: aros pulidos por llama; rebordes de sellado y superficies de observación pulidos para minimizar partículas y mejorar la integridad del sello
- Montaje y alineación: Patrones de pernos precisos, avellanados y agujeros con escalón, características de pasadores/locadores. Identificación de la pieza por láser opcional / marca de orientación
- Limpieza: Limpieza ultrasónica/DI y empaque compatible con Clase 100
Propiedades del material (típicas)
- Excelente resistencia química frente a la mayoría de los medios de proceso (nota: HF ataca al cuarzo fundido)
- Muy baja expansión térmica y buena tolerancia al choque térmico
- Aislamiento eléctrico, baja desgasificación. Alta claridad óptica para la visualización y la alineación。
Notas de procesamiento y diseño
- Ancho y acabado de la pista de sellado y geometría de la ranura para junta tórica
- Añadir ventilación en características ciegas expuestas al vacío para evitar fugas virtuales
- Utilice radios internos generosos y bordes desbarbados para reducir la tensión y la generación de partículas
- Podemos asesorar tolerancias viables para la planitud, el paralelismo, la concentricidad y la carrera radial basadas en el tamaño y la geometría
Inspección y ensayos
- Verificación dimensional: Ø exterior/Ø interior/grosor, círculo de pernos, Ø del agujero/posición, tamaño/posición de la ranura
- Planitud y paralelismo de superficies selladas y ópticas
- 100% inspección visual de astillas, microfisuras, inclusiones y contaminación
- Opcional: prueba de fugas de helio (ensamblaje), verificación del acabado de la superficie, informe de limpieza.
Aplicaciones
Tapas de cámara y visores, placas protectoras en forma de anillo, pantallas antisalpicaduras para cabinas húmedas, interfaces de puertas de vacío, placas ópticas y de alineación en subsistemas de metrología o litografía
Embalaje y almacenamiento
Protectores de borde y películas protectoras en las zonas ópticas y de sellado; embalaje antiestático y sellado al vacío con protección externa rígida. Almacene en ambiente seco (<40 % de humedad relativa) a 10–30 °C; manténgase alejado de productos químicos que contengan HF.
Notas
Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor