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Anillos opacos de cuarzo fundido (OP) para procesos de alta temperatura
Anillos OP (opaco) de cuarzo fundido para altas temperaturas y alta pureza, usados en sellado de hornos semiconductores, soportes de tubo y escudos térmicos. Fabricados en cuarzo fundido opacificado de alta pureza con microburbujas uniformes; ofrecen estabilidad térmica, resistencia química y control dimensional estricto para operación fiable y sin contaminación
Datos necesarios para una cotización
- Dibujo (PDF/STEP) o dimensiones clave. Diámetro exterior/interior, espesor y alturas/anchos de escalones.
- Partes de acoplamiento e interfaz: tubo de horno OD/ID, placa de la puerta, superficies de sujeción, detalles de la junta o de la ranura
- Características: perfiles de labio doble y escalonados, muescas/llaves de alineación, orificios para tornillos y avellanados, orificios de ventilación, chaflanes/bisel.
- Condiciones de operación: temperatura máxima, perfil de ciclos térmicos, atmósfera/químicos.
- Tolerancias críticas: planitud, paralelismo, concentricidad/desviación circular; acabado superficial requerido en las superficies de sellado
- Cantidad (prototipo o lote). Informes de inspección requeridos; nivel de embalaje/limpieza.
Especificaciones clave
- Material: Opaco (opacificado) cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado de material disponible a petición.
- Geometría: Anillos planos, anillos escalonados o con pestaña, anillos de doble labio, construcción segmentada o monolítica. Totalmente personalizado según el dibujo
- Superficies funcionales: Superficies de sellado desbastadas y pulidas para un contacto estable; radios de curvatura suaves para reducir la generación de partículas
- Función térmica: La estructura de microburbujas mejora la dispersión IR y el aislamiento térmico, ayudando a estabilizar la temperatura de la zona caliente y a reducir la pérdida de calor.
- Montaje: Mecanizado de precisión con uniones fundidas por llama cuando sea necesario; recocido de alivio de tensiones disponible
- Limpieza: Limpieza ultrasónica/DI; empaque compatible con Class-100 con protectores de borde
Propiedades del material (típicas)
- Alta estabilidad térmica y baja expansión térmica; buena tolerancia al choque térmico
- Excelente inercia química frente a la mayoría de gases/químicos de proceso (nota: HF ataca al cuarzo fundido)
- Aislamiento eléctrico, con baja desgasificación; opacificación uniforme para un comportamiento térmico consistente.
Notas de procesamiento y diseño
- Mantenga uniforme el espesor de la sección. Utilice radios internos generosos para minimizar la concentración de esfuerzos.
- Especificar la ventilación y los avellanados en los orificios pasantes expuestos al vacío para evitar fugas virtuales
- Definir el ancho y el acabado de la zona de sellado, y la holgura admisible entre el anillo y el tubo para mantener la estanqueidad y el alineamiento.
- Definir el ancho y el acabado de la zona de sellado, y la holgura admisible entre el anillo y el tubo para mantener la estanqueidad y el alineamiento.
- Podemos asesorar tolerancias viables para la planitud, el paralelismo, la concentricidad y la carrera radial basadas en el tamaño y la geometría
Inspección y ensayos
- Verificación dimensional (OD/ID/grosor; alturas/anchos de escalones; ubicaciones de puntos de referencia)
- Comprobaciones de planitud y paralelismo y de desviación radial de los anillos de sellado y las superficies de referencia
- Inspección visual de astillas, microfisuras e inclusiones; evaluación de la uniformidad de la opacidad.
- Opcional: evaluación de birrefringencia/tensiones; informe de verificación de la limpieza
Aplicaciones
Sellado y soporte del extremo del tubo del horno. Anillos de zona caliente LPCVD/oxidación, escudos/refletores térmicos, interfaces puerta-placa; procesos de difusión y recocido que requieren alta pureza y campos de temperatura estables.
Embalaje y almacenamiento
Separadores de anillos y protecciones de borde; empaque antiestático, sellado al vacío con protección externa rígida. Mantener seco (<40% RH) a 10–30 °C y lejos de químicos que contengan HF.
Notas
Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor