Präzisions-Träger-Ringe aus geschmolzenem Quarz und Prozesskomponenten

  • Large, semi-transparent Fused Quartz ring with internal radial support fins and a central opening.
  • Two Fused Quartz support rings, one larger with internal fins, one smaller with cylindrical internal supports.

    • Präzisions-Träger-Ringe aus geschmolzenem Quarz und Prozesskomponenten

    Unterstützungsringe aus geschmolzenem Quarz/Quarzglas und Prozesskomponenten, die für die Halbleiterfertigung, Plasmaätzen und andere Hochtemperatur- und Hochreinheitsumgebungen entwickelt wurden. Aus hochwertigem geschmolzenem Quarz/Quarzglas gefertigt und für Steifigkeit und Durchfluss optimiert, bieten diese Teile hervorragende thermische Stabilität, chemische Inertheit und präzise dimensionale Kontrolle—und eine zuverlässige Unterstützung, Abstände und Prozessfluss sicherstellen.

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    Angaben für ein Angebot

    • Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselabmessungen: OD / ID / Dicke. Jegliche Stufen, Lippen oder Vorsprünge.
    • Funktion und Schnittstelle: passende Teile (Spannfutter/Platte/Rohr), Sollabstand Ring-zu-Teil, Dichtungs- und Auflageflächen
    • Eigenschaften: Schraubenkreis und Lochgröße/-anzahl; Senkung / Zylinderbohrung; Ausrichtungsschlüssel / Nut; Belüftungs-/Entwässerungslöcher
    • Fluss- und Steifigkeitsdetails: Rippen, Nuten und Abstandshalter (Höhe/Abstand), Gewichtsreduktionsmulden, Anforderungen an den Luftstrompfad.
    • Betriebsbedingungen: Vakuum/Plasma-Chemie, maximale Temperatur, Reinigungsziel
    • Kritische Toleranzen: Ebenheit, Parallelismus, Konzentrizität/Laufabweichung; Oberflächenfinish der funktionalen Flächen.
    • Количество (прототип или партия), необходимые отчёты об инспекции, уровень упаковки

    Wesentliche Spezifikationen

    • Material: Geschmolzener Quarz von hoher Reinheit (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
    • Geometrie: Flache oder gestufte Ringe; Doppel-Lippe-/Kantenstile; Ringe mit Rippen/Nuten/Abstandshaltern; Donut-Platten mit Öffnungen; monolithische oder flammenverschmolzene Baugruppen
    • Abmessungen: Nach Zeichnung (auf Maß gefertigt) mit gleichmäßiger Abschnittsstärke für thermische Stabilität
    • Durchfluss- und Supportfunktionen Radialrippen und Längsschlitze für einen kontrollierten Gasfluss und Steifigkeit. Gleichmäßig verteilte Belüftungsöffnungen verhindern virtuelle Lecks und verbessern die Effizienz der Spülung.
    • Kanten und Oberflächen: feuerpolierte Ränder; geschliffene/polierte Funktionsflächen; glatte Radien zur Minimierung der Partikelbildung
    • Ausrichtung und Montage: Präzise Schraubenmuster, Senkungen und Stufenbohrungen sowie Passstifte; optionale Laser-Teil-ID bzw. Orientierungsmarke der Baugruppe.
    • Variante: undurchsichtiger geschmolzener Quarz (OP) verfügbar, wo zusätzlicher thermischer Schutz benötigt wird
    • Sauberkeit: Ultraschall/DI-Reinigung; Class-100-kompatible Verpackung

    Materialeigenschaften (typisch)

    • Sehr geringe thermische Ausdehnung und gute Thermoschockbeständigkeit
    • Ausgezeichnete chemische Beständigkeit gegenüber den meisten Prozessmedien (Hinweis: HF greift Quarzglas an)
    • Elektrisch isolierend, geringe Ausgasung; optisch sauber, wenn Transparenz erforderlich ist

    Verarbeitungs- und Designhinweise

    • Halten Sie die Wandstärke gleichmäßig und verwenden Sie großzügige Innenradien, um die Spannungskonzentration zu reduzieren.
    • Definieren Sie die Auflagebreite/Finish und jegliche Geometrie der O-Ring-Nut, um die Zielleckrate zu erreichen, falls sie für die Abdichtung verwendet wird
    • Belüftete Blind- bzw. Gewindelöcher, dem Vakuum ausgesetzt, um virtuelle Lecks zu vermeiden
    • Rippen/Abstandsbolzen verbessern die Steifigkeit und den Abstand—geben Sie Höhe, Dicke und Abstand an; fügen Sie Gewichtsreduktionsnischen hinzu, wo Masse ein Problem darstellt
    • Wir können realisierbare Toleranzen für Planität, Parallelität, Koaxialität und Rundlauf basierend auf Größe und Geometrie empfehlen

    Inspektion und Prüfung

    • Abmessungsprüfung: Außendurchmesser/Innendurchmesser/Dicke, Höhen und Breiten der Stufen. Abstand von Rippen und Nuten, Lochkreis und Lochpositionen.
    • Prüfungen der Ebenheit und Parallelität an Referenz- und Dichtflächen; Rundlauf gegenüber dem Bezugsmaß
    • 100% Sichtprüfung auf Absplitterungen, Mikrorisse, Einschlüsse und Kontamination
    • Optionale Heliumleckprüfung (Montage), Oberflächenfinish-Verifikation, Birrefringenz- und Spannungsbewertung, Reinigungsbericht

    Anwendungen

    Support- und Distanzringe an Chuck/Platten, Durchflusskonditionierungs- und Spülringe für Plasma-/CVD-Werkzeuge, Spritz-/Partikelschutzvorrichtungen, Ausrichtungs- und Handlingsringe für Wafer-/Prozess-Träger in Hochtemperatur- oder korrosiven Umgebungen

    Verpackung und Lagerung

    Kanten- und Trenner; antistatische, vakuumversiegelte Verpackung mit robustem äußerem Schutz. Trocken lagern (<40% RH) bei 10–30 °C; HF-haltige Chemikalien fernhalten.

    Hinweise
    Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
    Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

    Schnelle Anfrage

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    Rund um die Uhr per E‑Mail oder Telefon erreichbar, um Sie beim Kauf unserer Quarzglasprodukte, bei Lösungen, bei Anwendungsproblemen oder mit technischem Support zu unterstützen.

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