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Fenster aus geschmolzenem Quarz und Kammerkomponenten
Unsere Präzisionsfenster aus geschmolzenem Quarz und maßgeschneiderte Kammerkomponenten sind für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiterfertigung, Plasmaätzen und Vakuumsystemen ausgelegt. Hergestellt aus hochreinem geschmolzenen Quarz bieten diese 12-inch-Platten eine außergewöhnliche UV-Vis-Transparenz, thermische Stabilität und chemische Beständigkeit und gewährleisten präzisen optischen Zugang sowie zuverlässige Leistung in kritischen Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen.
Material
- Basismaterial: synthetischer hochreiner geschmolzener Quarz
- Optische Güte: UV-Transparenz mit niedrigem OH-Gehalt
Abmessungen
- Durchmesser :100 mm ±0.05 mm
- Dicke: 3 mm ±0.05 mm
- Kantenbearbeitung: Fein geschliffene Fase ≤0.3 mm
Physische Eigenschaften
- Dichte: 2.2 g/cm³
- Härte: Mohs 5.5-6.5
- Wärmeausdehnung: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
- Erweichungspunkt: 1683°C
Optische Eigenschaften
- Übertragungsbereich: 190 nm (UV) bis 2500 nm (IR)
- Brechungsindex: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
- Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
- Oberflächenebenheit: λ/4 @ 632.8 nm
Oberflächenspezifikationen
- Rauheit Ra: ≤5 Å (polierte Oberflächen)
- Parallelismus : ≤1 arcmin
Chemische Beständigkeit
- Beständig gegen Säuren (außer HF), Wasser und organische Lösungsmittel
Anwendungen
- Optische Fenster, Lasersysteme, UV-Lithographie
- Halbleiterbearbeitung, Hochtemperatur-Sichtfenster
Zertifizierungen und Konformität
- RoHS-konform
- Individuelle Metrologieberichte auf Anfrage erhältlich
Verpackung
- Individuell verpackt in antistatischem Schaumstoff
- In starren, bruchfesten Behältern verschickt
Hinweise
Vermeiden Sie mechanische Stöße oder den direkten Kontakt mit scharfen Gegenständen
Mit IPA oder Aceton reinigen und fusselfreie Tücher verwenden
Für vollständige technische Daten oder individuelle Anfragen kontaktieren Sie email