geschmolzener Quarz Wafer-Abstandshalter und Stapelstangen

  • Multiple clear Fused Quartz cylindrical shafts with precise spiral grooves, designed for wafer stacking.

    • geschmolzener Quarz Wafer-Abstandshalter und Stapelstangen

    Abstandshalter aus geschmolzenem Quarzglas und Stapelstangen, die für das Trennen von Wafern, das Trocknen und die Chargenhandhabung in Nassbänken, Diffusionsöfen und Hochtemperaturprozessen bestimmt sind. Aus hochreinem geschmolzenen Quarzglas hergestellt und ausgelegt für eine geringe Partikelemission, halten diese Bauteile die Wafer gleichmäßig auseinander, verhindern Kratzer und liefern eine saubere, thermisch stabile Leistung in kritischen Umgebungen.

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    Angaben für ein Angebot

    • Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselabmessungen: Durchmesser der Stange oder Breite × Länge; Nut-/Riffelabstand, Breite und Tiefe; Breite der Kontaktfläche
    • Wafergröße und Zielabstand (Anzahl der Wafer pro Stange, Gesamthöhe des Stapels)
    • Endmerkmale: Zapfen/Schulter mit reduziertem Durchmesser, flache/Anti-Roll-Oberflächen, Durchbohrungen, Gewinde oder Montageschlitze
    • Oberflächenfinish an Kontaktflächen (poliert gegenüber geschliffen), Kantradien/Fasen zum Schutz der Waferkanten
    • Betriebsumgebung: Chemikalien (Nasschemikalien am Arbeitsplatz). Vakuum-/Temperaturprofil und Sauberkeitsniveau.
    • Kritische Toleranzen: Uniformität des Nutabstands, Geradheit/Konzentrizität, zulässige Durchbiegung unter Last.
    • Количество (прототип или партия), необходимые отчёты об инспекции, уровень упаковки

    Wesentliche Spezifikationen

    • Material: Hochreines Quarzglas (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
    • Geometrie: Runde Stäbe oder flache Stangen mit maschinell gefertigten Nut- und Riefen; optionale Abstandshalter, Anschläge oder Ausrichtungsflächen; einteilige oder durch Flamme verschmolzene Baugruppen
    • Abmessungen: Nach Zeichnung (auf Maß gefertigt) mit gleichmäßiger Abschnittsstärke für thermische Stabilität
    • Kontaktflächen: Polierte Flächen und abgerundete Kanten, um Mikroabplatzungen und Kratzer zu minimieren
    • Ende- und Montageoptionen: Zapfen/Schultern für Rahmen, Enden mit Gewinde oder Durchlochungen, Anti-Rotations-Flächen, Laser-Teil-ID auf Anfrage.
    • Sauberkeit: Ultraschall/DI-Reinigung; Class-100-kompatible Verpackung

    Materialeigenschaften (typisch)

    • Sehr geringe thermische Ausdehnung und gute Thermoschockbeständigkeit
    • Ausgezeichnete chemische Beständigkeit gegenüber den meisten Prozessmedien (Hinweis: HF greift Quarzglas an)
    • elektrisch isolierend, geringes Ausgasen; optisch saubere Oberflächen

    Verarbeitungs- und Designhinweise

    • Passe den Radius der Nut und die Breite der Landezone an die Geometrie der Waferkante an. Vermeide scharfe Übergänge.
    • Halten Sie den Nutabstand einheitlich, um einen konsistenten Abstand und einen gleichmäßigen Luft- bzw. Spülfluss zu gewährleisten; fügen Sie bei Bedarf Entwässerungsreliefs hinzu.
    • Geben Sie die zulässige Durchbiegung bei Volllast an. Verwenden Sie einen größeren Querschnitt oder Rippen, wenn die Steifigkeit kritisch ist.
    • Entlüften Sie alle Blindlöcher, die in vakuumierten Werkzeugen verwendet werden, um virtuelle Leckagen zu verhindern
    • Spannungsarmglühen und Kantenpolieren werden empfohlen für eine lange Lebensdauer bei Temperaturwechselzyklen

    Inspektion und Prüfung

    • Dimensionsprüfung: Durchmesser und Länge der Stange, Rillenabstand/Breite/Tiefe der Nut, Größen und Positionen der Endmerkmale.
    • Geradheits-/Konzentrizitätsprüfungen und Durchbiegung unter repräsentativer Last
    • 100% Sichtprüfung auf Absplitterungen, Mikrorisse, Einschlüsse und Kontamination
    • Optionale Reinigungszertifizierung, Birefringenz-/Spannungsbewertung

    Anwendungen

    Wafer-Stapeln und -Trennung in Nassbänken, Diffusions-/Oxidations-/Backöfen, Trocknungs- und Transportvorrichtungen, temporäre Lagerregale und Präzisionshandling in Hochreinen Linien

    Verpackung und Lagerung

    Schutzvorrichtungen und Trenner für Kontaktflächen; antistatische, vakuumversiegelte Verpackung mit robuster Außenverpackung. Trocken lagern (<40% relative Feuchte) bei 10–30 °C und fern von HF-haltigen Chemikalien.

    Hinweise
    Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
    Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

    Schnelle Anfrage

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