Geschmolzene Quarz-Waferboote

  • Clear fused quartz wafer boat with multiple slots for semiconductor wafers.
  • Long, clear fused quartz rods with spiral grooves, likely components of a wafer boat.
  • Compact clear fused quartz boat or carrier design, angled view.
  • Opaque fused quartz wafer carrier frame with straight support rods.
  • Multiple individual clear fused quartz wafer support stands or components.

    • Geschmolzene Quarz-Waferboote

    Der Quartz Cleaning Boat ist ein Träger von hoher Reinheit und Korrosionsbeständigkeit, der für die Branchen Halbleiter, Photovoltaik und Präzisions-Elektronik entwickelt wurde. Er wird verwendet, Wafer oder Bauteile während der Nass-/Trockenreinigung, der Säure-Ätzung oder Hochtemperaturprozessen zu halten.

    Kostenlose Anfrage stellen

    Produktübersicht

    Unsere hochreinen, korrosionsbeständigen Quarzboote und -träger aus geschmolzenem Quarz sind maßgeschneidert für die Halbleiter-, Photovoltaik- und Präzisionselektronikindustrie. Ideal für die Waferreinigung (RCA, SC1/SC2), Säureätzprozesse, Hochtemperatur-Annealing/Diffusion und CVD/PVD-Prozesse; diese Komponenten bieten ultrareine, kontaminationsfreie Oberflächen und hervorragende thermische Stabilität, und erfüllen die SEMI F20/F47-Normen.

    Technische Spezifikationen

    • Parameter: Details
    • Material: Geschmolzener Quarz (SiO₂ ≥99.99%)
    • Abmessungen: Anpassbar (Standard: Länge 200–500 mm, Breite 50–150 mm, Höhe 20–50 mm)
    • Max. Temperatur: 1,200°C (Dauerbetrieb) / 1,450°C (Kurzzeit)
    • Oberflächenfinish: Säurepoliert, Ra ≤0.8 μm
    • Reinheit: Geringe Metallverunreinigungen (Na, K, Fe usw. <1 ppm)
    • Thermische Stabilität: Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE): 0.55 ×10⁻⁶/°C (20–1,000°C)

    Schlüsselmerkmale

    • Hohe chemische Beständigkeit: Beständig gegen HF, HCl, HNO₃ und andere aggressive Chemikalien
    • Geringe thermische Ausdehnung: Minimiert Verformungen bei schnellen Temperaturwechseln
    • Kontaminationsfrei: Ultrasaubere Oberfläche verhindert die Partikelanhaftung
    • Individuelles Design: Spaltabstand, Tiefe und Geometrie der Küvette individuell auf die Bedürfnisse des Kunden abgestimmt

    Anwendungen

    • Waferreinigung in Nassbänken (RCA, SC1/SC2)
    • Säurebadprozesse (z. B. BOE-Ätzung)
    • Hochtemperatur-Glühen/Diffusionsschritte
    • Handhabung von Bauteilen der CVD/PVD-Kammer

    Qualitätssicherung

    • Einhaltung: Erfüllt die SEMI F20/F47-Normen
    • Test:
      ICP-MS zur Analyse von Verunreinigungen
      Oberflächenrauheitsmessung mittels AFM
      Thermischer Schocktest (1,000°C ⇄ 25°C, 10 Zyklen)

    Verpackung und Lagerung

    • Einzeln verpackt in antistatischen, ESD-sicheren Behältern
    • Lagern Sie es in einer trockenen, staubfreien Umgebung (10–30°C)

    Vorsichtsmaßnahmen

    • Mechanische Stöße oder plötzliche Temperaturänderungen vermeiden (>10°C/min)
    • Reinigen Sie vor dem ersten Gebrauch mit deionisiertem Wasser oder Ethanol

    Schnelle Anfrage

    Wenn Sie mehr erfahren möchten geschmolzener Quarz Oder suchen Sie Lösungen aus Quarzglas? Kontaktieren Sie uns für professionelle Dienstleistungen

    Rund um die Uhr per E‑Mail oder Telefon erreichbar, um Sie beim Kauf unserer Quarzglasprodukte, bei Lösungen, bei Anwendungsproblemen oder mit technischem Support zu unterstützen.

    Name (Kopie)
    de_DEDeutsch
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais ru_RUРусский arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 de_DEDeutsch