Rufen Sie uns an: +86 0518-87284110

Fused Quartz Vacuum Chucks & Handling Plates

Tuguan
August 12, 2025

Close-up of a clear Fused Quartz plate with complex internal fluidic channels and two circular ports, held by a gloved hand

Clear Fused Quartz rectangular frame or support component with a large central cutout and multiple perimeter holes.

Top-down view of a clear, square Fused Quartz plate with an intricate concentric circular and radial etched pattern, resembling a fan guard

Clear, rectangular Fused Quartz plate with a precise grid of small square openings and circular standoffs, held by a gloved hand.

Fused Quartz Vacuum Chucks & Handling Plates

Our precision custom Fused Quartz vacuum chucks, plates, and handling fixtures are engineered for demanding applications in semiconductor wafer processing, etching, and other high-tech industries. Crafted from high-purity Fused Quartz, these components ensure contamination-free, scratch-free handling, offering exceptional thermal stability and chemical inertness for reliable performance in vacuum and high-temperature environments

Kostenlose Anfrage stellen

Basic Dimensions

Outer Diameter (OD): 300.0 mm ±0.1
Inner Diameter (ID): 210.0 mm ±0.1
Height (H): 6.35 mm ±0.05

Materialeigenschaften

Basismaterial: Al₂O₃ (Aluminiumoxid-Keramik) / Optional: ZrO₂, Si₃N₄
Dichte ≥3.90 g/cm³
Biegefestigkeit: ≥350 MPa
Wärmeleitfähigkeit: 24-30 W/(m·K)
Dielektrische Festigkeit: ≥15 kV/mm

Toleranz und Oberflächenqualität

Konzentrizität: ≤0.05 mm (Außendurchmesser gegenüber Innendurchmesser)
Parallelismus ≤0.03 mm (Ober- und Unterflächen)
Oberflächenrauheit: Ra ≤0.4 μm

Kern-Leistungstests

Dimensionsprüfung: Gemäß ISO 286-2
Leckagerate-Test ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Helium-Massenspektrometrie)
Thermischer Stoßfestigkeit: ΔT ≥300°C (5 Zyklen, keine Risse)

Anwendungen

Halbleiterverarbeitung: Vakuumkammern, Plasmaätzkomponenten
Umgebungen mit hohen Temperaturen: ≤1600°C (Materialabhängig)

Verpackung und Handhabung

Reinraumverpackung Klasse 100 oder besser
Antistatisch ESD-sichere Behälter

Konformitätserklärung
Entspricht SEMI F47-0706 (Keramikbauteile für Halbleiteranlagen)

Haftungsausschluss
Die Individualisierung ist auf Anfrage verfügbar. Kritische Parameter, die mit “□” gekennzeichnet sind, erfordern eine ausdrückliche Bestätigung.

Schnelle Anfrage

Wenn Sie mehr erfahren möchten geschmolzener Quarz Oder suchen Sie Lösungen aus Quarzglas? Kontaktieren Sie uns für professionelle Dienstleistungen

Rund um die Uhr per E‑Mail oder Telefon erreichbar, um Sie beim Kauf unserer Quarzglasprodukte, bei Lösungen, bei Anwendungsproblemen oder mit technischem Support zu unterstützen.