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geschmolzener Quarz Vakuum-Spannfutter und 12-Zoll-Wafer-Halterungsscheiben
Unsere präzisen, maßgeschneiderten Vakuumspannfutter aus geschmolzenem Quarz und 12-inch-Wafer-Halterplatten sind für anspruchsvolle Anwendungen in der Handhabung von Halbleiterwafern, beim Ätzen und in anderen High-Tech-Industrien ausgelegt. Aus hochreinem geschmolzenen Quarz gefertigt, gewährleisten diese Komponenten eine kontaminationsfreie, kratzfeste Handhabung und bieten außergewöhnliche thermische Stabilität und chemische Inertheit für zuverlässige Leistung in Vakuum- und Hochtemperaturumgebungen.
Material
- Basismaterial: synthetischer hochreiner geschmolzener Quarz
- Optische Güte: UV-Transparenz mit niedrigem OH-Gehalt
Abmessungen
- Durchmesser :100 mm ±0.05 mm
- Dicke: 3 mm ±0.05 mm
- Kantenbearbeitung: Fein geschliffene Fase ≤0.3 mm
Physische Eigenschaften
- Dichte: 2.2 g/cm³
- Härte: Mohs 5.5-6.5
- Wärmeausdehnung: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
- Erweichungspunkt: 1683°C
Optische Eigenschaften
- Übertragungsbereich: 190 nm (UV) bis 2500 nm (IR)
- Brechungsindex: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
- Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
- Oberflächenebenheit: λ/4 @ 632.8 nm
Oberflächenspezifikationen
- Rauheit Ra: ≤5 Å (polierte Oberflächen)
- Parallelismus : ≤1 arcmin
Chemische Beständigkeit
- Beständig gegen Säuren (außer HF), Wasser und organische Lösungsmittel
Anwendungen
- Optische Fenster, Lasersysteme, UV-Lithographie
- Halbleiterbearbeitung, Hochtemperatur-Sichtfenster
Zertifizierungen und Konformität
- RoHS-konform
- Individuelle Metrologieberichte auf Anfrage erhältlich
Verpackung
- Individuell verpackt in antistatischem Schaumstoff
- In starren, bruchfesten Behältern verschickt
Hinweise
Vermeiden Sie mechanische Stöße oder den direkten Kontakt mit scharfen Gegenständen
Mit IPA oder Aceton reinigen und fusselfreie Tücher verwenden
Für vollständige technische Daten oder individuelle Anfragen kontaktieren Sie email
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