Träger aus geschmolzenem Quarz und Prozesshalter

  • Clear Fused Quartz support frame with multiple angled bars and flat mounting points, held by a gloved hand

    • Träger aus geschmolzenem Quarz und Prozesshalter

    Quarzglas bietet Stützen, Rahmen und Halterungen, die für die Waferbearbeitung, CVD, Plasmageräte, Nassbänke und Hochtemperaturöfen entwickelt wurden. Aus hochreinem geschmolzenem Quarz hergestellt und durch präzise Flammenfusion montiert, liefern diese Vorrichtungen hervorragende thermische Stabilität, chemische Inertheit und präzisen Dimensionskontrolle — und sorgen so für sauberen, stabilen Halt und zuverlässige Handhabung in kritischen Umgebungen.

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    Angaben für ein Angebot

    • Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselabmessungen: Gesamtgröße, Durchmesser von Schiene bzw. Stange, Höhe des Abstandshalters, Schnittstellenpunkte
    • Last & Schnittstelle: Größe/Gewicht des zu haltenden Teils (Wafer/Boat/Substrat). Anzahl der Kontaktpunkte und Zielspielräume
    • Verwendungsmodus: statische Unterstützung vs. Transfer-/Robot-Handling; Montagemuster oder Haken-/Fuß-Design
    • Umgebung: Chemikalien, Vakuum/Druck, maximale Temperatur und Profil des thermischen Zyklus
    • Oberfläche & Kontakt: polierte Pads vs. geschliffene Oberflächen; Kantenradien/Fasen zum Verhindern von Kratzern
    • Kritische Toleranzen: Ebenheit/Rechtwinkligkeit, Parallelität, zulässige Durchbiegung unter Belastung
    • Menge (Prototyp oder Charge), Inspektionsberichte erforderlich, Verpackungs-/Sauberkeitsgrad

    Wesentliche Spezifikationen

    • Material: Hochreines Quarzglas (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
    • Geometrie: Rahmen, Gestelle, Aufnahmen, Träger, Haltewinkel und Kreuzstrebenstützen. Monolithische oder flammenverschmolzene Baugruppen
    • Abmessungen: Nach Zeichnung (auf Maß gefertigt) mit gleichmäßiger Abschnittsstärke für thermische Stabilität
    • Eigenschaften: Abstandshalter/Füße, Schienen, Laschen/Haken, Ausrichtungsschlüssel oder Dübel, Gewichtsreduktionsnischen, Entwässerungs-/Belüftungslöcher
    • Konstruktion: Präzisionsbearbeitung mit glatten, spanfreien Verbindungen. Spannungsarmglühen ist verfügbar.
    • Oberflächenfinish: Feuerpolierte Kanten; polierte Kontaktpads für kratzfreies Handling; entgratete Radien an allen Kontaktpunkten
    • Sauberkeit: Ultraschall-/DI-Reinigung; Verpackung kompatibel mit Class-100; optionale Laser-Teil-ID/Orientierungsmarke

    Materialeigenschaften (typisch)

    • Sehr geringe thermische Ausdehnung und gute Thermoschockbeständigkeit
    • Ausgezeichnete chemische Beständigkeit gegenüber den meisten Prozessmedien (Hinweis: HF greift Quarzglas an)
    • Elektrisch isolierend, mit geringem Ausgasungsverhalten; optisch saubere Oberflächen für kontaminationsempfindliche Werkzeuge.

    Verarbeitungs- und Designhinweise

    • Halten Sie die Wand- und Stabdicke gleichmäßig und fügen Sie an den Verbindungen großzügige Radien hinzu, um Spannungskonzentrationen zu minimieren
    • Definition der Größe/Finish des Kontaktpads und des zulässigen Spalts zur Nutzlast, um Mikrochips und Partikelfallen zu vermeiden
    • Verwenden Sie Kreuzstreben oder Rippen, wenn Steifigkeit und geringe Durchbiegung kritisch sind; geben Sie die Zieldeflexion unter Last an
    • Belüften Sie Blindkavitäten bzw. Blindlöcher, die dem Vakuum ausgesetzt sind, um virtuelle Lecks zu verhindern
    • Wir können praxisnahe Toleranzen für Ebenheit, Rechtwinkligkeit, Parallelismus und Rundlauf basierend auf Größe, Geometrie und Last empfehlen.

    Inspektion und Prüfung

    • Dimensionale Prüfung: Gesamtabmessungen, Stand-off-Höhe, Abstand von Schienen und Stangen, Lochpositionen; Rechtwinkligkeit und Parallelität prüfen
    • Visuelle Inspektion: 100 % Prüfung auf Chips, Mikrorisse, Einschlüssen und Kontamination.
    • Optional: Birefringenz/Spannungsauswertung; Last-/Durchbiegungstest; Reinigungsbericht

    Anwendungen

    Wafer-Boat und Substratträger, Rahmen der Heizzone des Ofens, Nassbank-Regale und -Träger, Transfervorrichtungen für robotische oder manuelle Handhabung, Ausrichtungs- und Abstands-Vorrichtungen in CVD/Ätz-/Reinigungswerkzeugen.

    Verpackung und Lagerung

    Schutzhüllen an den Kontaktenden, Kantenschutz und Trenner; antistatische Vakuumverpackung mit robuster äußerer Schutzvorrichtung. Trocken lagern (<40% RH) bei 10–30 °C und fern von chemischen Substanzen, die HF enthalten.

    Hinweise
    Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
    Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

    Schnelle Anfrage

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