Geschmolzene Ringe aus Quarz und Prozesskomponenten

  • White gloved hand holding a semi-transparent Fused Quartz ring with a double-grooved profile
  • Semi-transparent Fused Quartz ring plate with multiple clear cylindrical supports and a central opening
  • Semi-transparent Fused Quartz ring plate with a large central opening and outer edge cutouts

    • Geschmolzene Ringe aus Quarz und Prozesskomponenten

    Ringe aus geschmolzenem Quarz und Prozesskomponenten, entwickelt für Anwendungen in der Halbleitertechnik, Plasmaätzen und Vakuumanwendungen. Aus hochreinem Silicaglas entsprechend Ihren Zeichnungen bearbeitet, bieten diese Bauteile hervorragende thermische Stabilität, chemische Inertheit und präzise Maßhaltigkeit — ideal zum Abdichten, Abstandhalten, Abschirmen und Handling in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen.

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    Angaben für ein Angebot

    • Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselabmessungen: OD / ID / Dicke. Jegliche Stufen, Lippen oder Vorsprünge.
    • Funktion und Schnittstelle: Breite und Finish der Dichtfläche. Ring-zu-Teil-Spalt und passgenaue Teile (Rohr, Platte, Tür, Spannzange).
    • Eigenschaften: Lochbild (BCD, Lochzahl), Senkungen/Gegenbohrungen, Ausrichtungsnuten/Schlüssel, Belüftungslöcher, O-Ring-Nuten
    • Optionale Elemente: Abstandshalter/Stifte, Taschen, Schatten-/Lip-Geometrie, Spritzschilde, Laserbauteil-ID/Orientierungsmarke
    • Betriebsbedingungen: Vakuumniveau / Druck, Plasma/Chimie, maximale Temperatur, Reinigungsziel.
    • Kritische Toleranzen: Ebenheit, Parallelität, Konzentrizität/Rundlauf. Erforderliche Oberflächenqualität an funktionalen Flächen.
    • Menge (Prototyp oder Charge), benötigte Prüfberichte, Verpackungsstufe

    Wesentliche Spezifikationen

    • Material: Hochreines Quarzglas (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
    • Geometrie: Flache Ringe, gestufte/mit Doppel-Lippe Ringe, Donut-Platten mit Öffnungen, Ringe mit Standoffs/Posts oder integrierten Schilden; monolithische oder durch Flamme verschmolzene Baugruppen
    • Abmessungen: Nach Zeichnung (auf Bestellung); Gleichmäßige Querschnittsdicke für thermische Stabilität
    • Kanten und Oberflächen: Feuerpolierte Kanten; geschliffene oder polierte Dicht- und Sichtflächen; glatte Radien zur Minimierung der Partikelbildung
    • Montage & Ausrichtung: Präzise Schraubenkreise, Senkungen/Aufbohrungen, Passstiftmerkmale; optionale Laser-Markierung
    • Sauberkeit: Ultraschall/DI-Reinigung; Class-100-kompatible Verpackung
    • Variante: Undurchichtiger Quarz (OP) verfügbar, wenn zusätzlicher Wärmeschutz erforderlich ist

    Materialeigenschaften (typisch)

    • Sehr geringe thermische Ausdehnung, gute Thermoschock-Toleranz
    • Ausgezeichnete chemische Beständigkeit gegenüber den meisten Prozessmedien (Hinweis: HF greift Quarzglas an)
    • Elektrisch isolierend, mit geringer Ausgasung; optisch sauber, wo Transparenz erforderlich ist.

    Verarbeitungs- und Designhinweise

    • Definieren Sie Breite und Oberflächenfinish des Dichtlandes sowie jede Geometrie der O-Ring-Nut, um die angestrebte Leckrate zu erreichen
    • Belüfte Blind- oder Gewindebohrungen, die dem Vakuum ausgesetzt sind, um virtuelle Lecks zu verhindern
    • Behalten Sie eine gleichmäßige Wanddicke bei und verwenden Sie großzügige Innenradien, um Spannungen zu reduzieren
    • Standoffs/Abstandshalter verbessern den Abstand und den Luftstrom. Geben Sie Höhe/Durchmesser sowie die Endbearbeitung der Spitze an.
    • Wir können realisierbare Toleranzen für Planität, Parallelität, Koaxialität und Rundlauf basierend auf Größe und Geometrie empfehlen

    Inspektion und Prüfung

    • Dimensionale Überprüfung: OD/ID/thickness, step heights/widths, bolt circle, hole Ø/positions; post/standoff height
    • Prüfung der Ebenheit und Parallelität der Dichtflächen und Referenzflächen; Abweichung gegenüber dem Bezugsdatum
    • 100% Sichtprüfung auf Absplitterungen, Mikrorisse, Einschlüsse und Kontamination
    • Optionale Heliumleckprüfung (Montage), Oberflächenfinish-Verifikation, Birrefringenz- und Spannungsbewertung, Reinigungsbericht

    Anwendungen

    Dichtungsringe für Ofen- und Rohrenden sowie Vakuumtüren, Abstandsringe und Tragringe, Spritz- und Partikelschutz, Ausrichtungs- und Handlingsringe. Ringförmige Schutzplatten für das Ätzen, CVD/PECVD, Diffusion/Oxidation, Nassbank- und Metrologiesubsysteme.

    Verpackung und Lagerung

    Kantenschutz und Trennvorrichtungen; antistatische, vakuumversiegelte Verpackung mit robuster äußerer Schutzverpackung. Trocken lagern (<40% RH) bei 10–30 °C und fern von HF-haltigen Chemikalien.

    Hinweise
    Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
    Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

    Schnelle Anfrage

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    Rund um die Uhr per E‑Mail oder Telefon erreichbar, um Sie beim Kauf unserer Quarzglasprodukte, bei Lösungen, bei Anwendungsproblemen oder mit technischem Support zu unterstützen.

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