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Geschmolzene Quarz-Ringabdeckungen & Schutzplatten
Ringabdeckungen aus geschmolzenem Quarz und Schutzplatten für Halbleitergeräte, Vakuumsysteme und optische Baugruppen. Hergestellt aus hochreinem Siliziumdioxid (geschmolzen) und nach Ihrer Zeichnung bearbeitet, liefern diese transparenten Bauteile hervorragende optische Klarheit, thermische Stabilität, chemische Trägheit und präzisen Sitz, wodurch eine zuverlässige Abdichtung, Spritzwasserschutz und visueller Zugriff in sensiblen Umgebungen ermöglicht wird.
Angaben für ein Angebot
- Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselmaße: Ø außen, Ø innen/Öffnung, Dicke
- Bohrkreis Ø (BCD), Loch Ø/Anzahl, Nut- oder Freiraumstil, Senkung bzw. Zylinderbohrungs-Details
- Dichtungsmerkmale: Größe/Position der O-Ring-Nut, Breite und Oberflächenfinish der Dichtungsauflagefläche, Schnittstelle der Dichtung
- Funktionale Optionen: Sichtfensterzone, erhobene/gestufte Kanten, Ausrichtungsnuten/Keile, Lüftungsöffnungen zur Vermeidung virtueller Lecks
- Betriebsbedingungen: Vakuumniveau/Druck, Chemikalien, Temperatur, Reinheitsziel
- Kritische Toleranzen: Ebenheit, Parallelität, Konzentrizität/Rundlaufabweichung; Oberflächenqualität an Dichtflächen und optischen Bereichen
- Menge (Prototyp oder Charge), Inspektionsberichte erforderlich, Verpackungsstufe
Wesentliche Spezifikationen
- Material: Geschmolzener Quarz von hoher Reinheit (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
- Geometrie: Runde oder polygonale Ringabdeckungen, Donuts, Vollplatten mit zentraler Öffnung; einteilige oder mehrteilige Baugruppen gemäß Zeichnung
- Abmessungen: Nach Zeichnung (auf Bestellung); Gleichmäßige Querschnittsdicke für thermische Stabilität
- Kanten und Oberflächen: Feuerpolierte Kanten; geschliffene/polierte Dichtflächen und Sichtflächen, um Partikel zu minimieren und die Integrität der Abdichtung zu verbessern
- Montage & Ausrichtung: Präzise Schraubenmuster, Senkungen und konische Bohrungen, Passstift-/Lagemerkmale; optionale Laser-Teil-ID/Orientierungsmarke
- Sauberkeit: Ultraschall-/DI-Reinigung und eine Klasse-100-kompatible Verpackung
Materialeigenschaften (typisch)
- Ausgezeichnete chemische Beständigkeit gegenüber den meisten Prozessmedien (Hinweis: HF greift Quarzglas an)
- Sehr geringe thermische Ausdehnung und gute Thermoschockbeständigkeit
- Elektrisch isolierend, geringe Ausgasung. Hohe optische Klarheit für Sichtprüfung und Ausrichtung。
Verarbeitungs- und Designhinweise
- Breite und Finish der Dichtfläche sowie Geometrie der O-Ring-Nut
- Entlüftung an blinden Merkmalen hinzufügen, die dem Vakuum ausgesetzt sind, um virtuelle Lecks zu verhindern
- Verwenden Sie großzügige innere Radien und entgratete Kanten, um Spannung und Partikelbildung zu reduzieren
- Wir können basierend auf Größe/Geometrie praktikable Toleranzen für Ebenheit, Parallelität, Koaxialität und Rundlauf empfehlen
Inspektion und Prüfung
- Abmessungsprüfung: Ø außen/Ø innen/Dicke, Lochkreis, Loch Ø/Position, Nutbreite/Position
- Planheit und Parallelität von Dichtflächen und optischen Oberflächen
- 100% Sichtprüfung auf Absplitterungen, Mikrorisse, Einschlüsse und Kontamination
- Optionale Prüfung: Heliumleckprüfung (Montage), Oberflächenfinish-Verifikation, Reinigungsbericht.
Anwendungen
Kammerabdeckungen und Sichtfenster, ringförmige Schutzplatten, Spritzschutze für Nassbänke, Schnittstellen für Vakuumtüren, optische und Ausrichtplatten in Metrologie- oder Lithografie-Subsystemen
Verpackung und Lagerung
Kantenschutz und Schutzfolien an optischen/Dichtungsbereichen; antistatische, vakuumversiegelte Verpackung mit robuster äußerer Schutz. Lagern Sie trocken (<40 % relative Feuchte) bei 10–30 °C; fernhalten von HF-haltigen Chemikalien.
Hinweise
Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen
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