Geschmolzener Quarz Fokussierungs- und Plasma-Ringe für Ätzen und CVD

  • Clear Fused Quartz focusing ring with a flat base and a hexagonal inner ring

    • Geschmolzener Quarz Fokussierungs- und Plasma-Ringe für Ätzen und CVD

    Eigene geschmolzene Quarz-Fokussierungsringe (auch Kantenringe, Eingrenzungsringe, Plasma-Ringe oder Schattenringe) entwickelt für Plasmaätzen, CVD und andere Vakuumprozesse. Hergestellt aus hochreinem Siliziumdioxid und nach Ihren Zeichnungen präzisionsbearbeitet, bieten diese Ringe hervorragende Plasma-Beständigkeit, thermische Stabilität und eine enge dimensionale Kontrolle — damit die Prozessgleichmäßigkeit erhalten bleibt und Kontaminationen in kritischen Kammern minimiert werden.

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    Angaben für ein Angebot

    • Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselabmessungen: Außendurchmesser, Innendurchmesser, Dicke, Stufenhöhen und -breiten.
    • Größe und Orientierung des Wafers (z. B. 200/300 mm; Kerbenposition), Zielspalt zwischen Ring und Wafer.
    • Eigenschaften: Stufen/Kanten, Taschen, Spann- oder Schattengeometrie, Belüftungen, Schraubenlöcher, Senkbohrungen, Ausrichtungsnuten
    • Kantendetails und Oberflächenfinish (Fasen; geschliffene oder polierte Oberflächen)
    • Betriebsbedingungen: Plasmachemie, Leistung, Temperatur, erwartete Lebensdauer/Verschleißtoleranz
    • Kritische Toleranzen: Ebenheit, Parallelität, Konzentrizität, Rundlauf
    • Количество (прототип или партия), необходимые отчёты об инспекции, уровень упаковки

    Wesentliche Spezifikationen

    • Material: Hochreines Quarzglas (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
    • Geometrie: Flache Ringe, gestufte/mit Kanten versehene Ringe, Segmente aus mehreren Teilen, Einfang-/Schattenringe — vollständig individuell nach Zeichnung gefertigt.
    • Abmessungen: Nach Zeichnung (auf Bestellung); Gleichmäßige Querschnittsdicke für thermische Stabilität
    • Funktionale Merkmale Schattenlippen, Klemmflächen, Wafer-Einlegeschritte, Durchfluss-/Ventillationslöcher zum Druckausgleich
    • Kante und Oberfläche Feuerpolierte Kanten; abgeschliffene oder polierte Funktionsflächen; glatte Radien zur Reduzierung der Partikelbildung
    • Ausrichtung und Montage: Nuten/Keile, Senkbohrungen, Datumsreferenzen, Laserteil-ID/Flussrichtung auf Anfrage
    • Sauberkeit: Ultraschall/DI-Reinigung; Class-100-kompatible Verpackung

    Materialeigenschaften (typisch)

    • Geringe thermische Ausdehnung und hohe Thermoschock-Beständigkeit
    • Ausgezeichnete chemische Inertheit gegenüber den meisten Prozessgasen; beachten Sie, dass HF Quarzglas angreift
    • elektrisch isolierend, geringes Ausgasen; optisch saubere Oberflächen

    Verarbeitungs- und Designhinweise

    • Halten Sie den Ring-zu-Wafer-Abstand und die Höhen der Stufen konstant, um eine gleichmäßige Plasmaverteilung zu gewährleisten.
    • Fügen Sie großzügige innere Radien an Übergängen hinzu, um Spannungen und Partikelfallen zu reduzieren
    • Belüftete Durchgangslöcher mit Gegenbohrung, die dem Vakuum ausgesetzt sind, um virtuelle Lecks zu verhindern
    • Oberflächenfinish auswählen basierend auf der Prozesssauberkeit und den Anforderungen an Spannen/Schatten
    • Wir können basierend auf Größe/Geometrie praktikable Toleranzen für Ebenheit, Parallelität, Koaxialität und Rundlauf empfehlen

    Inspektion und Prüfung

    • Dimensionsprüfung (CMM/optisch): OD/ID/Dicke, Stufenhöhen/Stufenbreiten, Spaltmerkmale
    • Planität/Parallelismus und Rundlauf gegenüber Bezugsflächen
    • Visuelle Inspektion: 100 % Prüfung auf Chips, Mikrorisse, Einschlüssen und Kontamination.
    • Optional: Birefringenz-/Spannungsbewertung; Oberflächenfinish-Verifizierung; Reinigungsbericht

    Anwendungen

    Plasmaätzung ICP/RIE/DRIE, PECVD/CVD, als Rand-, Fokussierungs- und Schattenringe sowie Eindämmungskomponenten für 150–300 mm Wafer-Plattformen und benutzerdefinierte Substrate.

    Verpackung und Lagerung

    Antistatische, vakuumverpackte Verpackung mit festem Schutz; Ringseparatoren verhindern Kontakt mit den Kanten. Trocken (<40% RH) bei 10–30 °C lagern; HF-haltige Chemikalien fernhalten.

    Hinweise
    Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
    Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

    Schnelle Anfrage

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