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Gekrümmte Platten aus geschmolzenem Quarz und Innenauskleidungen von Ofenrohren
Gebogene Platten aus geschmolzenem Quarzglas und Halbzylinder-Einlagen, entwickelt für Hochtemperatur- und Hochreinheitsumgebungen in Halbleiterwerkzeugen, der chemischen Verarbeitung und Industrieöfen. Hergestellt aus hochreinem geschmolzenen Quarzglas mit glatten, splitterfreien Kanten, bieten diese Teile hervorragende thermische Stabilität, chemische Inertheit und eine präzise Passform—und liefern zuverlässigen Schutz, sauberen Fluss und eine lange Lebensdauer.
Angaben für ein Angebot
- Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselabmessungen: Innenradius/Außenradius (oder Rohr-ID/OD), Bogenwinkel (z. B. 90°/120°/180°), Länge, Dicke
- Geometrie: eine einzelne gebogene Platte, Halbrohr, Viertelzylinder oder segmentierter Innenliner; Überlappungs- oder Stumpfstoß-Verbindung
- End- und Kantendetails: eckige oder abgerundete Enden, Lippen/Flansche, Laschen, Fase; etwaige Nuten, Löcher oder Öffnungen.
- Schnittstelle & Passung: Kopplungsrohr- oder Rahmenmaß, gewünschter liner-zu-Wand-Spalt, Kontakt- bzw. Auflageflächen, Montage- oder Klemmverfahren
- Betriebsbedingungen: Chemie, maximale Temperatur und thermische Zyklen, Vakuum/Druck (falls vorhanden), Sauberkeitsgrad.
- Kritische Toleranzen: Profil- bzw. Radiusgenauigkeit, Geradheit, Parallelität, Rundheit/Laufabweichung entlang des Bogens
- Menge (Prototyp oder Charge); angeforderte Inspektionsberichte und Verpackungsgrad
Wesentliche Spezifikationen
- Material: Hochreines Quarzglas (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
- Geometrie: Gekrümmte Platten, Halbröhren-Liner, Viertelsegmente, geteilte Hülsen und kundenspezifische Bogensegmente – monolithische oder flammenverschmolzene Baugruppen.
- Abmessungen: Nach Zeichnung (maßgefertigt) mit gleichmäßiger Wandstärke zur thermischen Stabilität
- Kanten und Oberflächen: Feuerpolierte Kanten; geschliffene oder polierte Funktionsflächen. Glatte Radien zur Minimierung der Partikelbildung.
- Optionale Merkmale: Relief-/Entlüftungslöcher, Ausrichtungsnuten/Schlüssel, O-Ring-Nuten oder Dichtflächen, Positionierungslaschen.
- Varianten: Undurchsichtiger (OP) Quarz verfügbar für zusätzlichen Wärmeschutz; klares geschmolzenes Quarzglas zur visuellen Inspektion
- Sauberkeit: Ultraschall/DI-Reinigung; Class-100-kompatible Verpackung
Materialeigenschaften (typisch)
- Sehr geringe thermische Ausdehnung mit guter Thermoschockbeständigkeit
- Ausgezeichnete chemische Beständigkeit gegenüber den meisten Prozessmedien (Hinweis: HF greift Quarzglas an)
- Elektrisch isolierend, geringe Ausgasung; optisch sauber, wenn Transparenz erforderlich ist
Verarbeitungs- und Designhinweise
- Definieren, ob der Radius sich auf Innen oder äußerer Oberfläche; Wanddicke gleichmäßig halten, um Spannungen zu reduzieren
- Ausdehnungsspielräume zulassen und konforme Klemmung verwenden, um Spannungen bei thermischen Zyklen zu vermeiden
- Versehen Sie Übergänge mit großzügigen Abrundungen und entgraten Sie alle Kanten, um Absplitterungen und Partikelfallen zu verhindern.
- Für segmentierte Innenauskleidungen geben Sie die Fugenüberlappung bzw. den Fugenabstand sowie alle Merkmale zur Verhinderung der Drehung an.
- Wir können praktikable Toleranzen für Radius und Profil, Planheit und Geradheit sowie Rundlauf basierend auf Größe und Geometrie empfehlen.
Inspektion und Prüfung
- Dimensionale Überprüfung: Radius/Bogenwinkel/Länge/Dicke; Toleranz des Profils entlang des Bogens; Loch- und Nutpositionen
- Ebenheits- und Geradheitsprüfungen an Referenzflächen; Rundheit und Laufabweichung relativ zum Bezug
- 100% Sichtprüfung auf Absplitterungen, Mikrorisse, Einschlüsse und Kontamination
- Optionale: Birefringenz- und Spannungsbewertung sowie Sauberkeitsbericht
Anwendungen
Auskleidungen von Ofentuben und geteilte Hülsen, Wärmeschutzschilde und Spritzschutze, Schutzbaffles, gebogene Fenster oder Führungen für Prozesse mit hoher Reinheit und hohen Temperaturen (Diffusion/Oxidation/CVD, Nassbänke und Laboröfen)
Verpackung und Lagerung
Kantenschutz und gebogene Trenner; Antistatische, vakuumversiegelte Verpackung mit robuster äußerer Schutz. Trocken lagern (<40 % relative Feuchte) bei 10–30 °C; HF-haltige Chemikalien fernhalten.
Hinweise
Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen
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