geschmolzener Quarz Blasenrohre und Gas-Sparger

geschmolzener Quarz Blasenrohre und Gas-Sparger

Bubbler-Tuben aus geschmolzenem Quarz und Gas-Sparger, ausgelegt für Hochreinigkeitsprozesse in der Halbleiter-, Chemie- und Laborumgebung. Hergestellt aus ultra-hochreinem geschmolzenen Quarz und montiert durch Präzisions-Flammenfusion, liefern diese Bauteile hervorragende chemische Inertheit, thermische Stabilität und eine saubere, präzise Verteilung von Gasen in Flüssigkeiten oder Suspensionen in kritischen Umgebungen.


Angaben für ein Angebot

  • Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselmaße: Außendurchmesser/Innendurchmesser/Länge des Rohrs; Eintauchtiefe; Geometrie von Biegung und Arm.
  • Sparger-Kopf-Stil: Mehrlochspitze, perforierte Bulbe, Schlitzspitze oder poröser Kopf (auf Anfrage)
  • Ziel-Blasengröße / Verteilung, Gasart und Durchflussbereich; Flüssigkeiten/Chemie und Betriebstemperatur
  • Verbindungstyp: gerades Rohr, geschliffener Glas-Joint, Kugel-/Sockel-Verbindung, Schlauchstutzen oder KF/ISO/CF-Adapter
  • Reinheitsgrad und Oberflächenbeschaffenheit der benetzten Bereiche. Anforderungen an Rückfluss/Antisiphon.
  • Es gelten Testanforderungen (Heliumleck, Durchflusscharakterisierung, Halte-/Druckprüfung) sowie die Verpackungsstufe.

Wesentliche Spezifikationen

  • Material: Geschmolzener Quarz von hoher Reinheit (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
  • Konfigurationen: Gerade oder L-förmige Dip-Tuben; einzelne oder mehrere Bulben; seitliche Anschlüsse. Integrierte Aufhänger und Positionsringe.
  • Dispersionsoptionen: Laserbohrte oder geätzte Öffnungen; schlitzförmige Spitzen; optionale poröse Diffusor-Köpfe
  • Konstruktion: Sanfte flammenverschmolzene Übergänge und Spannungsarmglühen; splitterfreie, polierte Enden
  • Anschlüsse: Geschliffene Konusverbindungen, Kugel-Sockel-Verbindungen, Schlauchstutzen mit Rippen oder Vakuumflansche, wie angegeben
  • Sauberkeit: Ultraschall/DI-Reinigung; Class-100-kompatible Verpackung
  • Service-Hinweis: Ausgelegt für Vakuum oder niedrigen Überdruck; jede Druckangabe ist konstruktions- und prüfabhängig

Materialeigenschaften (typisch)

  • Hervorragende chemische Beständigkeit und geringe Extraktionsgehalte (Hinweis: HF greift den geschmolzenen Quarz an)
  • Sehr geringe thermische Ausdehnung und gute Thermoschockbeständigkeit
  • Elektrisch isolierend, geringes Ausgasungsverhalten; optisch saubere benetzte Oberflächen

Verarbeitungs- und Designhinweise

  • Passe die Anzahl bzw. Größe der Öffnungen an die Zielblasengröße und den Gasfluss an; verteile die Ports so, dass keine Koaleszenz auftritt
  • Belüftungswege für Blindkavitäten zur Vermeidung virtueller Lecks in Vakuumsystemen
  • Verwenden Sie großzügige Radien an den Verbindungen, um Spannungen und Partikelfallen zu minimieren; glätten Sie bei Bedarf benetzte Oberflächen
  • Bestimmen Sie die Eintauchtiefe und Anti-Siphon-Funktionen für eine sichere Abschaltung. Fügen Sie bei Bedarf Entleerungs- und Spülvorrichtungen hinzu.
  • Wir können praxisnahe Toleranzen für Geradheit, Rundlauf und die Positionierung von Öffnungen basierend auf der Geometrie empfehlen.

Inspektion und Prüfung

  • Dimensionsprüfung: OD/ID/Länge, Biegungsgeometrie, Bohrungsgröße/Anzahl/Position der Bohrungen
  • Optional: Heliumlecktest (Betrieb im Vakuum), Durchflussrate und Druckabfall-Charakterisierung, Reinigungsbericht
  • 100% Sichtprüfung auf Absplitterungen, Mikrorisse, Einschlüsse und Kontamination

Anwendungen

Gasverteilung in Nasszellen und chemischen Bädern. Blubbern von Vorläuferstoffen und Dämpfen, Mischung und Belüftung in Systemen mit hoher Reinheit sowie Gasreinigung und analytische Laborprozesse.

Verpackung und Lagerung

Schutzhüllen an Öffnungen und Enden; antistatische, vakuumversiegelte Verpackung mit stoßdämpfender Schaumstoffeinlage und robuster äußerer Schutz. Trocken lagern (<40% RH) bei 10–30 °C, fern von Chemikalien, die HF enthalten.

Hinweise
Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

Schnelle Anfrage

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