Keramikgefäße für die Verarbeitung von Halbleitern

  • Precision machined ceramic cylinder with multiple large holes and notched edges.
  • Top-down view of a ceramic cylinder showing internal features and notched rim.
  • Simple, smooth-walled ceramic crucible or cup.
  • Small, spherical ceramic vessel with a wide opening.
  • Short ceramic cylinder with two large circular cutouts.
  • Ceramic cylinder with a stepped outer profile and smooth inner wall.

    • Keramikgefäße für die Verarbeitung von Halbleitern

    Präzise gefertigte, maßgeschneiderte keramische Gefäße, einschließlich Tiegeln und Zylindern, bestehen aus hochreinem Aluminiumoxid (Al2O3), Zirkonoxid (ZrO2) oder Siliziumnitride (Si3N4). Entwickelt für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiter-, Vakuum- und Plasmaätzprozessen bieten diese Hochleistungskomponenten hervorragende thermische, elektrische und mechanische Eigenschaften für kritische Hochtemperaturumgebungen.

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    Maßgeschneiderte Abmessungen

    • Laut Zeichnung (individuelle Größen und Geometrien)

    Materialeigenschaften

    • Basismaterial: Al₂O₃ (Aluminiumoxid-Keramik) / Optional: ZrO₂, Si₃N₄
    • Dichte ≥3.90 g/cm³
    • Biegefestigkeit: ≥350 MPa
    • Wärmeleitfähigkeit: 24-30 W/(m·K)
    • Dielektrische Festigkeit: ≥15 kV/mm

    Toleranz und Oberflächenqualität

    • Konzentrizität: ≤0.05 mm (Außendurchmesser gegenüber Innendurchmesser)
    • Parallelismus ≤0.03 mm (Ober- und Unterflächen)
    • Oberflächenrauheit: Ra ≤0.4 μm

    Kern-Leistungstests

    • Dimensionsprüfung: Gemäß ISO 286-2
    • Leckagerate-Test ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Helium-Massenspektrometrie)
    • Thermischer Stoßfestigkeit: ΔT ≥300°C (5 Zyklen, keine Risse)

    Anwendungen

    • Halbleiterverarbeitung: Vakuumkammern, Plasmaätzkomponenten
    • Umgebungen mit hohen Temperaturen: ≤1600°C (Materialabhängig)

    Verpackung und Handhabung

    • Reinraumverpackung Klasse 100 oder besser
    • Antistatisch ESD-sichere Behälter

    Konformitätserklärung
    Entspricht SEMI F47-0706 (Keramikbauteile für Halbleiteranlagen)

    Haftungsausschluss
    Die Individualisierung ist auf Anfrage verfügbar. Kritische Parameter, die mit “□” gekennzeichnet sind, erfordern eine ausdrückliche Bestätigung.

    Schnelle Anfrage

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