Keramikplatten für das Ätzen von Halbleitern

  • Bottom view of a custom ceramic plate with recessed grooves and mounting holes.
  • Top view of a precision ceramic plate with multiple horizontal slots.

    • Keramikplatten für das Ätzen von Halbleitern

    Unsere präzisionsbearbeiteten keramischen Platten, erhältlich in Aluminiumoxid (Al2O3), Zirkonoxid (ZrO2) und Siliciumnitride (Si3N4), sind maßgeschneidert für anspruchsvolle Prozesse in der Halbleiterindustrie, im Vakuum und beim Plasmaätzen. Diese Hochleistungsbauteile bieten herausragende thermische, elektrische und mechanische Eigenschaften und gewährleisten Zuverlässigkeit in Hochtemperaturumgebungen.

    Kostenlose Anfrage stellen

    Maßgeschneiderte Abmessungen

    • Laut Zeichnung (individuelle Größen und Geometrien)

    Materialeigenschaften

    • Basismaterial: Al₂O₃ (Aluminiumoxid-Keramik) / Optional: ZrO₂, Si₃N₄
    • Dichte ≥3.90 g/cm³
    • Biegefestigkeit: ≥350 MPa
    • Wärmeleitfähigkeit: 24-30 W/(m·K)
    • Dielektrische Festigkeit: ≥15 kV/mm

    Toleranz und Oberflächenqualität

    • Konzentrizität: ≤0.05 mm (Außendurchmesser gegenüber Innendurchmesser)
    • Parallelismus ≤0.03 mm (Ober- und Unterflächen)
    • Oberflächenrauheit: Ra ≤0.4 μm

    Kern-Leistungstests

    • Dimensionsprüfung: Gemäß ISO 286-2
    • Leckagerate-Test ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Helium-Massenspektrometrie)
    • Thermischer Stoßfestigkeit: ΔT ≥300°C (5 Zyklen, keine Risse)

    Anwendungen

    • Halbleiterverarbeitung: Vakuumkammern, Plasmaätzkomponenten
    • Umgebungen mit hohen Temperaturen: ≤1600°C (Materialabhängig)

    Verpackung und Handhabung

    • Reinraumverpackung Klasse 100 oder besser
    • Antistatisch ESD-sichere Behälter

    Konformitätserklärung
    Entspricht SEMI F47-0706 (Keramikbauteile für Halbleiteranlagen)

    Haftungsausschluss
    Die Individualisierung ist auf Anfrage verfügbar. Kritische Parameter, die mit “□” gekennzeichnet sind, erfordern eine ausdrückliche Bestätigung.

    Schnelle Anfrage

    Wenn Sie mehr erfahren möchten geschmolzener Quarz Oder suchen Sie Lösungen aus Quarzglas? Kontaktieren Sie uns für professionelle Dienstleistungen

    Rund um die Uhr per E‑Mail oder Telefon erreichbar, um Sie beim Kauf unserer Quarzglasprodukte, bei Lösungen, bei Anwendungsproblemen oder mit technischem Support zu unterstützen.

    Name (Kopie)
    de_DEDeutsch
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais ru_RUРусский arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 de_DEDeutsch