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6 inch geschmolzener Quarz Vakuumspannfutter und Wafer-Halterungsscheiben
Unsere präzisen, kundenspezifischen Vakuumspannfutter und Wafer-Halterungsscheiben aus geschmolzenem Quarzglas sind für anspruchsvolle Anwendungen im Waferhandling, Ätzen und anderen High-Tech-Branchen entwickelt. Hergestellt aus hochreinem geschmolzenen Quarzglas gewährleisten diese Bauteile kontaminationsfreie, kratzerfreie Handhabung und bieten herausragende thermische Stabilität sowie chemische Inertität für eine zuverlässige Leistung in Vakuum- und Hochtemperaturumgebungen.
Material
- Basismaterial: synthetischer hochreiner geschmolzener Quarz
- Optische Güte: UV-Transparenz mit niedrigem OH-Gehalt
Abmessungen
- Durchmesser :100 mm ±0.05 mm
- Dicke: 3 mm ±0.05 mm
- Kantenbearbeitung: Fein geschliffene Fase ≤0.3 mm
Physische Eigenschaften
- Dichte: 2.2 g/cm³
- Härte: Mohs 5.5-6.5
- Wärmeausdehnung: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
- Erweichungspunkt: 1683°C
Optische Eigenschaften
- Übertragungsbereich: 190 nm (UV) bis 2500 nm (IR)
- Brechungsindex: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
- Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
- Oberflächenebenheit: λ/4 @ 632.8 nm
Oberflächenspezifikationen
- Rauheit Ra: ≤5 Å (polierte Oberflächen)
- Parallelismus : ≤1 arcmin
Chemische Beständigkeit
- Beständig gegen Säuren (außer HF), Wasser und organische Lösungsmittel
Anwendungen
- Optische Fenster, Lasersysteme, UV-Lithographie
- Halbleiterbearbeitung, Hochtemperatur-Sichtfenster
Zertifizierungen und Konformität
- RoHS-konform
- Individuelle Metrologieberichte auf Anfrage erhältlich
Verpackung
- Individuell verpackt in antistatischem Schaumstoff
- In starren, bruchfesten Behältern verschickt
Hinweise
Vermeiden Sie mechanische Stöße oder den direkten Kontakt mit scharfen Gegenständen
Mit IPA oder Aceton reinigen und fusselfreie Tücher verwenden
Für vollständige technische Daten oder individuelle Anfragen kontaktieren Sie email
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