Keramische Stäbe für Anwendungen in der Halbleitertechnik

  • Five curved precision ceramic rods for industrial applications
  • Long, straight ceramic bar with mounting holes and machined features.
  • Three different sizes of cylindrical precision ceramic rods.
  • Two long, straight alumina ceramic rods, possibly for support or insulation.
  • Group of assorted slim, straight precision ceramic rods.
  • Complex engineered ceramic rod with pointed tip and horizontal support features.
  • Long, custom-machined ceramic rod with holes and a specialized base.
  • Three precision ceramic inserts or guides with mounting holes and stepped profiles.

    • Keramische Stäbe für Anwendungen in der Halbleitertechnik

    Unsere präzisionsgefertigten, kundenspezifischen Keramikstäbe und -leisten, erhältlich in hochreinem Alumina (Al2O3), Zirconia (ZrO2) oder Silicium-Nitrid (Si3N4), sind für anspruchsvolle Halbleiter-, Vakuum- und Plasmaätzenprozessen ausgelegt. Diese Hochleistungsbauteile bieten herausragende thermische, elektrische und mechanische Eigenschaften und gewährleisten Zuverlässigkeit in kritischen Hochtemperaturumgebungen.

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    Maßgeschneiderte Abmessungen

    • Laut Zeichnung (individuelle Größen und Geometrien)

    Materialeigenschaften

    • Basismaterial: Al₂O₃ (Aluminiumoxid-Keramik) / Optional: ZrO₂, Si₃N₄
    • Dichte ≥3.90 g/cm³
    • Biegefestigkeit: ≥350 MPa
    • Wärmeleitfähigkeit: 24-30 W/(m·K)
    • Dielektrische Festigkeit: ≥15 kV/mm

    Toleranz und Oberflächenqualität

    • Konzentrizität: ≤0.05 mm (Außendurchmesser gegenüber Innendurchmesser)
    • Parallelismus ≤0.03 mm (Ober- und Unterflächen)
    • Oberflächenrauheit: Ra ≤0.4 μm

    Kern-Leistungstests

    • Dimensionsprüfung: Gemäß ISO 286-2
    • Leckagerate-Test ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Helium-Massenspektrometrie)
    • Thermischer Stoßfestigkeit: ΔT ≥300°C (5 Zyklen, keine Risse)

    Anwendungen

    • Halbleiterverarbeitung: Vakuumkammern, Plasmaätzkomponenten
    • Umgebungen mit hohen Temperaturen: ≤1600°C (Materialabhängig)

    Verpackung und Handhabung

    • Reinraumverpackung Klasse 100 oder besser
    • Antistatisch ESD-sichere Behälter

    Konformitätserklärung
    Entspricht SEMI F47-0706 (Keramikbauteile für Halbleiteranlagen)

    Haftungsausschluss
    Die Individualisierung ist auf Anfrage verfügbar. Kritische Parameter, die mit “□” gekennzeichnet sind, erfordern eine ausdrückliche Bestätigung.

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