Keramische Komponenten für Halbleiter

  • Precision machined alumina ceramic block for semiconductor equipment.
  • Custom designed zirconia ceramic ring with multiple holes for industrial use.
  • Engineered ceramic support part for high-temperature processing.
  • Two hexagonal silicon nitride ceramic insulators with mounting holes.
  • Large custom ceramic base plate with precision cutouts for vacuum chambers.
  • Curved alumina ceramic guide component for specialized industrial machinery.
  • Small precision ceramic clamp or fixture for semiconductor assembly.
  • Complex machined ceramic vortex or flow control component.

    • Keramische Komponenten für Halbleiter

    Präzisions-Keramikkomponenten, bearbeitet aus hochreinem Alumina (Al2O3), Zirconia (ZrO2) und Silicon Nitride (Si3N4), werden für anspruchsvolle Halbleiter-, Hochtemperatur- und Vakuumanwendungen entwickelt. Sie bieten überlegene thermische, elektrische und mechanische Eigenschaften; unsere maßgefertigten Bauteile eignen sich ideal für kritische Umgebungen wie Plasmaätzen und Vakuumkammern.

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    Basic Dimensions

    • Laut Zeichnung (individuelle Größen und Geometrien)

    Materialeigenschaften

    • Basismaterial: Al₂O₃ (Aluminiumoxid-Keramik) / Optional: ZrO₂, Si₃N₄
    • Dichte ≥3.90 g/cm³
    • Biegefestigkeit: ≥350 MPa
    • Wärmeleitfähigkeit: 24-30 W/(m·K)
    • Dielektrische Festigkeit: ≥15 kV/mm

    Toleranz und Oberflächenqualität

    • Konzentrizität: ≤0.05 mm (Außendurchmesser gegenüber Innendurchmesser)
    • Parallelismus ≤0.03 mm (Ober- und Unterflächen)
    • Oberflächenrauheit: Ra ≤0.4 μm

    Kern-Leistungstests

    • Dimensionsprüfung: Gemäß ISO 286-2
    • Leckagerate-Test ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Helium-Massenspektrometrie)
    • Thermischer Stoßfestigkeit: ΔT ≥300°C (5 Zyklen, keine Risse)

    Anwendungen

    • Halbleiterverarbeitung: Vakuumkammern, Plasmaätzkomponenten
    • Umgebungen mit hohen Temperaturen: ≤1600°C (Materialabhängig)

    Verpackung und Handhabung

    • Reinraumverpackung Klasse 100 oder besser
    • Antistatisch ESD-sichere Behälter

    Konformitätserklärung
    Entspricht SEMI F47-0706 (Keramikbauteile für Halbleiteranlagen)

    Haftungsausschluss
    Die Individualisierung ist auf Anfrage verfügbar. Kritische Parameter, die mit “□” gekennzeichnet sind, erfordern eine ausdrückliche Bestätigung.

    Schnelle Anfrage

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