Saphir-Komponenten für extreme industrielle Anforderungen

  • Three translucent sapphire glass steps or support rings with central holes and flared bases.
  • Assortment of clear sapphire components, including circular base parts with central posts and smaller conical pieces.
  • Three clear, rectangular sapphire glass components with raised, open box-like structures.

    • Saphir-Komponenten für extreme industrielle Anforderungen

    Präzisionskeramische Abdeckplatten, hergestellt aus hochreinem Aluminiumoxid (Al2O3), Zirkonoxid (ZrO2) oder Silizium-Nitrid (Si3N4), werden für kritische Halbleiterprozesse, Vakuum und Plasmaätzprozesse entwickelt. Diese maßgeschneiderten Platten bieten herausragende thermische, elektrische und mechanische Eigenschaften und erfüllen strenge Industriestandards für anspruchsvolle Hochtemperaturanwendungen.

    Kostenlose Anfrage stellen

    Basic Dimensions

    • Outer Diameter (OD): 300.0 mm ±0.1
    • Inner Diameter (ID): 210.0 mm ±0.1
    • Height (H): 6.35 mm ±0.05

    Materialeigenschaften

    • Basismaterial: Al₂O₃ (Aluminiumoxid-Keramik) / Optional: ZrO₂, Si₃N₄
    • Dichte ≥3.90 g/cm³
    • Biegefestigkeit: ≥350 MPa
    • Wärmeleitfähigkeit: 24-30 W/(m·K)
    • Dielektrische Festigkeit: ≥15 kV/mm

    Toleranz und Oberflächenqualität

    • Konzentrizität: ≤0.05 mm (Außendurchmesser gegenüber Innendurchmesser)
    • Parallelismus ≤0.03 mm (Ober- und Unterflächen)
    • Oberflächenrauheit: Ra ≤0.4 μm

    Kern-Leistungstests

    • Dimensionsprüfung: Gemäß ISO 286-2
    • Leckagerate-Test ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Helium-Massenspektrometrie)
    • Thermischer Stoßfestigkeit: ΔT ≥300°C (5 Zyklen, keine Risse)

    Anwendungen

    • Halbleiterverarbeitung: Vakuumkammern, Plasmaätzkomponenten
    • Umgebungen mit hohen Temperaturen: ≤1600°C (Materialabhängig)

    Verpackung und Handhabung

    • Reinraumverpackung Klasse 100 oder besser
    • Antistatisch ESD-sichere Behälter

    Konformitätserklärung
    Entspricht SEMI F47-0706 (Keramikbauteile für Halbleiteranlagen)

    Haftungsausschluss
    Die Individualisierung ist auf Anfrage verfügbar. Kritische Parameter, die mit “□” gekennzeichnet sind, erfordern eine ausdrückliche Bestätigung.

    Schnelle Anfrage

    Wenn Sie mehr erfahren möchten geschmolzener Quarz Oder suchen Sie Lösungen aus Quarzglas? Kontaktieren Sie uns für professionelle Dienstleistungen

    Rund um die Uhr per E‑Mail oder Telefon erreichbar, um Sie beim Kauf unserer Quarzglasprodukte, bei Lösungen, bei Anwendungsproblemen oder mit technischem Support zu unterstützen.

    Name (Kopie)
    de_DEDeutsch
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais ru_RUРусский arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 de_DEDeutsch