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Gasdiffusor-Stäbe aus geschmolzenem Quarz und Belüftungsstäbe
Unsere präzisen, maßgeschneiderten Gasdiffusor-Stäbe und Entlüftungsstangen aus geschmolzenem Quarz sind auf anspruchsvolle Hochrein-Anwendungen in der Halbleiterfertigung, Plasmaätzen und der chemischen Verarbeitung ausgelegt. Hergestellt aus ultrahochreinem geschmolzenen Quarz bieten diese Bauteile eine herausragende chemische Inertheit, eine außergewöhnliche thermische Stabilität und eine präzise Merkmalsgeometrie für eine genaue Gas-/Flüssigkeitsverteilung und Flusssteuerung in kritischen Umgebungen.
Material
- Basismaterial: synthetischer hochreiner geschmolzener Quarz
- Optische Güte: UV-Transparenz mit niedrigem OH-Gehalt
Abmessungen
- Durchmesser :100 mm ±0.05 mm
- Dicke: 3 mm ±0.05 mm
- Kantenbearbeitung: Fein geschliffene Fase ≤0.3 mm
Physische Eigenschaften
- Dichte: 2.2 g/cm³
- Härte: Mohs 5.5-6.5
- Wärmeausdehnung: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
- Erweichungspunkt: 1683°C
Optische Eigenschaften
- Übertragungsbereich: 190 nm (UV) bis 2500 nm (IR)
- Brechungsindex: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
- Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
- Oberflächenebenheit: λ/4 @ 632.8 nm
Oberflächenspezifikationen
- Rauheit Ra: ≤5 Å (polierte Oberflächen)
- Parallelismus : ≤1 arcmin
Chemische Beständigkeit
- Beständig gegen Säuren (außer HF), Wasser und organische Lösungsmittel
Anwendungen
- Optische Fenster, Lasersysteme, UV-Lithographie
- Halbleiterbearbeitung, Hochtemperatur-Sichtfenster
Zertifizierungen und Konformität
- RoHS-konform
- Individuelle Metrologieberichte auf Anfrage erhältlich
Verpackung
- Individuell verpackt in antistatischem Schaumstoff
- In starren, bruchfesten Behältern verschickt
Hinweise
Vermeiden Sie mechanische Stöße oder den direkten Kontakt mit scharfen Gegenständen
Mit IPA oder Aceton reinigen und fusselfreie Tücher verwenden
Für vollständige technische Daten oder individuelle Anfragen kontaktieren Sie email
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