Kuppelabdeckungen und Prozessdeckel aus Quarzglas

  • Assortment of clear and frosted Fused Quartz components, including a large frosted ring with an integrated clear dome, and smaller clear domes and oval rings

    • Kuppelabdeckungen und Prozessdeckel aus Quarzglas

    Kuppelabdeckungen und Prozessdeckel aus geschmolzenem Quarz für hochreine Halbleiterwerkzeuge, optische Baugruppen und Hochtemperaturkammern. Hergestellt aus hochreinem geschmolzenem Quarz mit glatten, gratfreien Kanten, bieten diese Kuppeln hervorragende thermische Stabilität, chemische Inertheit und präzisen Sitz, für klare Sicht, zuverlässige Abdichtung und Schutz in sensiblen Umgebungen.

    Kostenlose Anfrage stellen

    Angaben für ein Angebot

    • Zeichnung (PDF/STEP) oder wichtige Maße bereitstellen: Außendurchmesser, Flanschdurchmesser/-breite, Durchbiegungshöhe (Krümmungsradius), Wandstärke.
    • Kuppelform: halbkugelig, flach/breit oder meniskusförmig; mit oder ohne Flansch bzw. Ring; klares oder satiniertes Sichtfeld.
    • Dichtungsinterface: Maße/Position der O-Ring-Nut, Breite/Oberflächenzustand der Dichtungsauflage, Gegenstücksfläche und Schraubenmuster, falls vorhanden.
    • Optische Anforderungen (falls zutreffend): Poliergrad im Sichtbereich, Scratch‑Dig‑Ziel, Oberflächenplanheit/Krümmung/Unregelmäßigkeit.
    • Geben Sie die Betriebsbedingungen an, einschließlich Vakuum/zulässigem Druck, Prozessgase/Chemie, maximaler Temperatur und thermischer Zyklen sowie des geforderten Reinheitsniveaus.
    • Kritische Toleranzen: Runout/Exzentrizität, Flanschparallelität/Planheit, Dickenuniformität und Toleranz des Kuppelprofils.
    • Menge (Prototyp oder Charge), geforderte Inspektionsberichte und Verpackungsstufe

    Wesentliche Spezifikationen

    • Material: Geschmolzener Quarz hoher Reinheit (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich. Optional geschmolzener Quarz in UV-Qualität für Transmission im tiefen UV.
    • Geometrie: Halbkugeln oder flache Kuppeln; Kuppeln mit integrierten Flanschen/Ringen; Abdeckungen mit kreisförmiger oder kundenspezifischer Öffnung; monolithische oder flammenverschmolzene Baugruppen.
    • Oberflächen: Optisch polierte Betrachtungszonen; geschliffene/polierte Dichtungsflächen; optionale mattierte/geätzte Bereiche zur Streuung des Lichts.
    • Kanten: Feuerpolierte Ränder und großzügige Radien zur Minimierung von Partikelbildung und Absplitterungen.
    • Sauberkeit: Ultraschall-/DI-Reinigung; Verpackung kompatibel mit Class-100
    • Service-Hinweis: Typischerweise für Vakuum oder geringen Überdruck. Jede Druckangabe hängt von Konstruktion und Prüfung ab.

    Materialeigenschaften (typisch)

    • Sehr geringe thermische Ausdehnung und gute Thermoschockbeständigkeit
    • Ausgezeichnete chemische Beständigkeit gegenüber den meisten Prozessmedien (Hinweis: HF greift Quarzglas an)
    • Elektrisch isolierend, geringe Ausgasung; hohe optische Klarheit von UV bis IR (gradabhängig).

    Verarbeitungs- und Designhinweise

    • Definieren Sie, ob der Kuppelradius auf die innere oder äußere Oberfläche bezogen wird; halten Sie die Wandstärke gleichmäßig, um Spannungen zu reduzieren.
    • Geben Sie den Poliergrad der Sichtfläche und alle optischen Spezifikationen an (z. B. Scratch-Dig 60-40 oder besser) nur dort an, wo es zur Kostenkontrolle erforderlich ist
    • Fügen Sie Belüftungen an blinden Merkmalen (Bolzenlöcher/Gegensenken) hinzu, die dem Vakuum ausgesetzt sind, um virtuelle Lecks zu vermeiden.
    • Verwenden Sie nachgiebige Dichtungen und Klammern und lassen Sie thermische Ausdehnung zu, um Spannungen während thermischer Zyklen zu vermeiden.
    • Wir können basierend auf der Größe realisierbare Toleranzen für Profil-/Durchbiegungshöhe, Flansch‑Planheit/Parallelität, Konzentrizität und Seitenschlag empfehlen.

    Inspektion und Prüfung

    • Maßkontrolle: OD, Flanschgeometrie, Pfeilhöhe/-radius, Dicke, Nutgröße/-position, Lage des Bolzenkreises.
    • Ebenheits-/Parallelitätsprüfungen an Dichtflächen; Kuppelprofil und Rundlauf gegenüber dem Bezug
    • Optische Inspektion des Sichtbereichs (Polierqualität, Defekte) wie angegeben
    • 100% Sichtprüfung auf Absplitterungen, Mikrorisse, Einschlüsse und Kontaminationen. Optionale Reinheits- sowie Doppelbrechungs-/Spannungsberichte.

    Anwendungen

    Inspektion und Bearbeitung von Deckeln für etch/CVD/RTP- und Vakuumkammern, optischen Fenstern und Lampengehäusen, Spritz-/Partikelschutz sowie Abdeckungen für Hochtemperaturreaktoren.

    Verpackung und Lagerung

    Kantenschutz und Schutzfolien über Sicht-/Dichtbereichen; antistatische, vakuumversiegelte Verpackung mit starrer Außenhülle. Trocken lagern (<40% RH) bei 10–30 °C und fern von HF-haltigen Chemikalien.

    Hinweise
    Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
    Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

    Schnelle Anfrage

    Wenn Sie mehr erfahren möchten geschmolzener Quarz Oder suchen Sie Lösungen aus Quarzglas? Kontaktieren Sie uns für professionelle Dienstleistungen

    Rund um die Uhr per E‑Mail oder Telefon erreichbar, um Sie beim Kauf unserer Quarzglasprodukte, bei Lösungen, bei Anwendungsproblemen oder mit technischem Support zu unterstützen.

    Name (Kopie)
    de_DEDeutsch
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais ru_RUРусский arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 de_DEDeutsch