Sprüh- und Reaktionskammern aus geschmolzenem Quarz

  • Clear Fused Quartz spray chamber with an integrated angled inlet arm and internal structure

    • Sprüh- und Reaktionskammern aus geschmolzenem Quarz

    Sprüh- und Reaktionskammern aus geschmolzenem Quarz entworfen für Hochreinigkeitsprozesse in der Halbleiter-, Chemie- und Laborbranche. Aus ultrahochreinem geschmolzenem Quarz, zusammengebaut durch Präzisions-Flammenfusion, bieten diese Gefäße hervorragende chemische Inertität, thermische Stabilität sowie eine saubere und präzise Steuerung der Gas- und Flüssigkeitszufuhr, des Mischens und der Verweilzeit in kritischen Umgebungen.

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    Angaben für ein Angebot

    • Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselmaße. Durchmesser/Höhe des Gefäßes, Wandstärke, Form des gewölbten/ flachen Deckels
    • Anschlüsse & Verbindungen: Menge, Standorte und Größen; Verbindungstyp (Konus/Kugelpfannen-Verbindung), Schlauchstutzen mit Zapfen oder Flansch KF/ISO/CF
    • Interne Merkmale: Typ der Sprühdüse, Tauchrohr oder Diffusor, Baffles/Mischer, Strömungsverteiler, Geometrie von Abfluss/Sumpf
    • Prozessbedingungen: Chemikalien/Gase, Ziel-Durchflussraten, Vakuum/zulässiger Druck, Höchsttemperatur, Reinheitsgrad
    • Instrumentation/Fenster: Thermowell, Sichtfenster/Ansichtsfenster, Probennahmeport; Anforderungen an O-Ring-Nut oder Dichtfläche
    • Kritische Toleranzen: Ebenheit/Parallelität der Dichtflächen, Konzentrizität/Rundlauf von Hals- und Portverbindungen
    • Menge (Prototyp oder Charge), Inspektionsberichte erforderlich und Verpackungsstufe

    Wesentliche Spezifikationen

    • Material: Hochreines Quarzglas (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
    • Konfigurationen: Zylindrische oder kugelförmige Kammern; Deckel mit einem oder mehreren Ports; integrierte Verteiler oder Risers; Entwässerungs- oder Sumpfoptionen.
    • Anschlüsse: Schleifglas-Joints, Kugel-Buchse, Schlauchstutzen, KF/ISO/CF-Flansche oder kundenspezifische Adapter
    • Internes Hardware: Sprühdüsen/Injektoren, Dip-Tuben, Diffusoren/Sparger, Baffles, Strömungs-Glätter—gemäß dem Zeichnungsplan
    • Konstruktion: Präzisionsbearbeitung mit flammenverschmolzenen Übergängen; Spannungsentlastungs-Glühen verfügbar.
    • Oberflächen & Sauberkeit: Glatte, chip-freie benetzte Oberflächen; Ultraschall-/DI-Reinigung; Class-100-kompatible Verpackung
    • Service-Hinweis: Für den Betrieb im Vakuum oder bei niedrigem Druck vorgesehen. Jede Druckangabe hängt von Auslegung und Prüfung ab.

    Materialeigenschaften (typisch)

    • Hervorragende chemische Beständigkeit und geringe Auslaugstoffe (Hinweis: HF greift geschmolzenen Quarz an)
    • Sehr geringe thermische Ausdehnung mit guter Thermoschockbeständigkeit
    • Elektrisch isolierend, optisch klar und mit geringer Ausgasung — ideal für Hochreinigkeitsanwendungen.

    Verarbeitungs- und Designhinweise

    • Verwenden Sie großzügige Radien an Übergängen, um Spannungen und Partikelfallen zu reduzieren. Glätten Sie die benetzten Oberflächen, um das Abwerfen von Partikeln zu minimieren
    • Definieren Sie Sprühbild/-winkel, die Ziel-Tröpfchengröße und Ziele der Verweildauer, wenn Sie Düsen und Blenden festlegen
    • Entlüftung in Blindkammern und gewindeten Merkmalen hinzufügen, um virtuelle Lecks im Vakuumbetrieb zu verhindern
    • Geben Sie eine Abflussneigung und die Geometrie des Sumpfs an, um Flüssigkeitsstau zu vermeiden; berücksichtigen Sie bei Bedarf Antireflux-Funktionen
    • Wählen Sie Anschlussnormen, die zu Ihrer nachgelagerten Sanitärinstallation und Wartungspraxis passen.
    • Wir können praktische Toleranzen für die Planheit der Dichtfläche, die Portkonzentrizität und die Ausrichtung empfehlen, basierend auf Größe/Geometrie.

    Inspektion und Prüfung

    • Dimensionale Prüfung: Behältergröße, Port-Positionen, Halskonzentrizität, Geometrie der Dichtfläche.
    • Optionale Tests: Helium-Lecktest (Vakuum-Baugruppen), Durchfluss-/Halte- oder Druckabfall-Test gemäß dem Entwurf
    • Visuelle Inspektion: 100 % Prüfung auf Chips, Mikrorisse, Einschlüssen und Kontamination.
    • Optionale Birefringenz- und Spannungsbewertung sowie Sauberkeitszertifizierung

    Anwendungen

    Zerstäubung und Mischung von Vorläufern für ALD/CVD, Nasschemie-Sprühen/Ätzen/Spülen, Dampf-Liquid-Kontakt, Mikroreaktoren, Gaswäsche und analytische/Laborsysteme, die hohe Reinheit und visuelle Zugänglichkeit erfordern

    Verpackung und Lagerung

    Schutzhüllen für Anschlüsse; antistatische, vakuumverpackte Verpackung mit stoßdämpfendem Schaumstoff und starrem äußerem Schutz. Lagern Sie trocken (<40% relativer Luftfeuchtigkeit) bei 10–30 °C und fern von HF-haltigen Chemikalien.

    Hinweise
    Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
    Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

    Schnelle Anfrage

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