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Opake Ringe aus geschmolzenem Quarz (OP) für Hochtemperaturprozesse

Tuguan
August 9, 2025

Opaque Fused Quartz ring with a prominent central groove, resting on a dark surface

Opake Ringe aus geschmolzenem Quarz (OP) für Hochtemperaturprozesse

OP (opaque) Ringe aus geschmolzenem Quarz für Hochtemperatur‑ und Hochreinheitsanwendungen wie Ofenabdichtung in der Halbleiterfertigung, Rohrendstützen und Heizzonen‑Schilde. Hergestellt aus opakiertem, hochreinem geschmolzenem Quarz mit homogener Mikroblasenstruktur; bieten thermische Stabilität, chemische Beständigkeit und enge Maßtoleranzen für zuverlässigen, kontaminationsfreien Betrieb

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Angaben für ein Angebot

Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselmaße. Außen-/Innen-Durchmesser, Dicke sowie Stufenhöhen/-breiten.
Anschlusselemente und Schnittstelle: Ofenrohr OD/ID, Türplatte, Klemmflächen, Details der Dichtung oder Nut
Eigenschaften: Doppel-Lippen-/Stufenprofile, Ausrichtungsnuten/Schlüssel, Bohrungen für Bolzen und konische Senkungen, Entlüftungsöffnungen, Fasen.
Betriebsbedingungen: Höchsttemperatur, Profil thermischer Zyklen, Atmosphäre/Chemikalien.
Kritische Toleranzen: Ebenheit, Parallelität, Konzentrizität/Rundlauf; erforderliche Oberflächenrauheit an den Dichtflächen
Menge (Prototyp oder Charge). Inspektionsberichte erforderlich; Verpackung/Reinheitsgrad.

Wesentliche Spezifikationen

Material: Undurchsichtiger, opakifizierter hochreiner geschmolzener Quarz (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich.
Geometrie: Flache Ringe, gestufte oder lippenführende Ringe, Ringe mit Doppel-Lippe, segmentierte oder monolithische Bauweise. Vollständig kundenspezifisch nach Zeichnung
Funktionale Oberflächen: Geschliffene und polierte Dichtflächen für stabilen Kontakt; glatte Radien zur Verringerung der Partikelbildung
Thermische Funktion: Eine Mikroblasenstruktur verbessert die IR-Streuung und die Wärmedämmung, hilft, die Temperatur der Hot-Zone zu stabilisieren und Wärmeverluste zu reduzieren.
Montage: Präzisionsbearbeitung mit flammenverschmolzenen Verbindungen bei Bedarf; Spannungsarmglühen verfügbar
Sauberkeit: Ultraschall-/DI-Reinigung; Class-100-kompatible Verpackung mit Kantenschutz

Materialeigenschaften (typisch)

Hohe thermische Stabilität und geringe Ausdehnung; gute Thermoschockbeständigkeit
Ausgezeichnete chemische Inertheit gegenüber den meisten Prozessgasen/Prozesschemikalien (Hinweis: HF greift den geschmolzenen Quarz an)
Elektrisch isolierend, geringe Entgasung; gleichmäßige Opazität für ein konsistentes thermisches Verhalten.

Verarbeitungs- und Designhinweise

Halten Sie die Querschnittsdicke gleichmäßig. Verwenden Sie großzügige Innenradien, um die Spannungskonzentration zu minimieren.
Geben Sie Belüftung und Gegenbohrungen an Durchgangslöchern an, die dem Vakuum ausgesetzt sind, um virtuelle Lecks zu vermeiden
Definieren Sie Breite und Oberflächenbeschaffenheit der Dichtzone sowie den zulässigen Ring-zu-Rohr-Spalt, um Leckagefreiheit und Ausrichtung sicherzustellen.
Definieren Sie Breite und Oberflächenbeschaffenheit der Dichtzone sowie den zulässigen Ring-zu-Rohr-Spalt, um Leckagefreiheit und Ausrichtung sicherzustellen.
Wir können basierend auf Größe/Geometrie praktikable Toleranzen für Ebenheit, Parallelität, Koaxialität und Rundlauf empfehlen

Inspektion und Prüfung

Abmessungsprüfung (OD/ID/Dicke; Schritt-Höhen/Schritt-Breiten; Bezugspunkte)
Prüfungen der Ebenheit und des Parallelismus sowie des Rundlaufs der Dichtflächen und der Referenzflächen
Visuelle Prüfung auf Chips, Mikrorissen und Inklusionen; Bewertung der Gleichmäßigkeit der Opazität.
Optional: Birefringenz-/Spannungsauswertung; Reinigungsnachweisbericht

Anwendungen

Endabdichtung und Unterstützung des Ofenrohrs. LPCVD-/Oxidations-Heizzonenringe, Wärmeschutzschilde/Reflektoren, Tür-Platte-Schnittstellen; Diffusions- und Wärmebehandlungsprozesse, die eine hohe Reinheit und stabile Temperaturfelder erfordern.

Verpackung und Lagerung

Ringseparatoren und Kantenschutzleisten; antistatische, vakuumversiegelte Verpackung mit robuster äußerer Schutzhülle. Trocken lagern (<40% RH) bei 10–30 °C und fern von HF-haltigen Chemikalien.

Hinweise
Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

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