Düsen und fluidische Komponenten

  • Frosted Fused Quartz nozzle with a precise internal channel and side port.
  • Clear Fused Quartz rectangular block with multiple internal threaded channels and fluidic pathways

    • Düsen und fluidische Komponenten

    Düsen aus geschmolzenem Quarz, Sprühköpfe, Injektoren, Diffusoren und fluidische Verteilersysteme, entwickelt für Halbleiterwerkzeuge, ALD/CVD, Nassbänke und chemische/Labor-Systeme. Aus hochreinem Quarzglas gefertigt und gemäß Ihrer Zeichnungen präzise bearbeitet, bieten diese Teile eine ausgezeichnete chemische Trägheit, thermische Stabilität und eine präzise, saubere Zufuhr von Gasen und Flüssigkeiten in Vakuum- und Hochtemperaturumgebungen.

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    Angaben für ein Angebot

    • Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselabmessungen: Gehäusegröße, Wanddicke, Portpositionen
    • Medium und Ziele: Gas/Flüssigkeit, Durchflussbereich, Druck/Vakuum, Sprühkegel- oder Jet-Stil
    • Details zum Loch: Durchmesser, Menge, Abstand, Position; Einzel- oder Mehrloch-Öffnungen; interner Diffusor/Sparger bei Bedarf
    • Verteiler-/Kanal-Details (falls zutreffend): Anordnung, Form des Querschnitts, Mischzonen, Grenzwerte des Totvolumens
    • Verbindungstypen: Gewindeenden, Schlauchstutzen, Druckfittings, KF/ISO-Flansche oder benutzerdefinierte Adapter
    • Kritische Toleranzen und Oberflächenfinish der benetzten Flächen; Reinigungsgrad
    • Menge (Prototyp oder Los), Prüfberichte, Verpackungsstufe

    Wesentliche Spezifikationen

    • Material: Hochreines Quarzglas (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
    • Typen: Düsen/Injektoren, Sprühköpfe, Diffusoren/Sparger, Verteiler, Mikroreaktor oder Mischblöcke
    • Abmessungen: Nach Zeichnung (maßgefertigt) mit gleichmäßiger Wandstärke zur thermischen Stabilität
    • Öffnungen und Durchgänge Lasergebohrt oder geätzt; Einzel- oder Mehrloch-Arrays; Kanalgeometrie gemäß dem Design.
    • Anschlüsse: Gewinde, Barbs, Kompressions- oder Flanschanschlüsse; Ausrichtungsmerkmale und Laser-Teile-ID auf Anfrage
    • Oberflächenfinish: Feuerpolierte Kanten; geschliffene oder polierte benetzte Oberflächen zur Minimierung der Partikelbildung
    • Konstruktion: Präzisionsbearbeitung mit flammenverschmolzenen Verbindungen. Optionale verklebte Abdeckplatten für Verteilerdesigns
    • Sauberkeit: Ultraschall/DI-Reinigung; Class-100-kompatible Verpackung
    • Service-Hinweis: Für den Betrieb im Vakuum oder bei niedrigem Druck vorgesehen. Jede Druckangabe hängt von Auslegung und Prüfung ab.

    Materialeigenschaften (typisch)

    • Hervorragende chemische Beständigkeit gegenüber den meisten Säuren, Basen und organischen Lösungsmitteln (Hinweis: HF greift geschmolzenen Quarz an)
    • Sehr geringe thermische Ausdehnung mit hoher thermischer Stoßfestigkeit
    • elektrisch isolierend, geringes Ausgasen; optisch saubere Oberflächen

    Verarbeitungs- und Designhinweise

    • Verwenden Sie großzügige Radien an inneren Übergängen, um Spannungen und Partikelfallen zu reduzieren
    • Halten Sie die Längen der Durchgänge und die Querschnitte konsistent, um eine gleichmäßige Strömungsverteilung zu erreichen
    • Belüften Sie Durchlassbohrungen, die dem Vakuum ausgesetzt sind, um virtuelle Lecks zu vermeiden; geben Sie die zulässige Leckrate an
    • Wählen Sie Verbindungsnormen, die zu nachgelagerten Rohrleitungen passen. Vermeiden Sie scharfe Gewinde an dünnen Abschnitten
    • Wir können basierend auf der Geometrie praktikable Toleranzen für Lochgröße/Lochabstand, Konzentrizität, Geradheit und Oberflächenfinish vorschlagen.

    Inspektion und Prüfung

    • Dimensionale Überprüfung: Körpergröße, Ports-Positionen, Größe und Abstand der Bohrungen; Kanalgeometrie (für Verteiler).
    • Optionale Helium-Dichtheitsprüfung (Vakuumbaugruppen). Druck-/Haltedauerprüfung gemäß Auslegung und Durchflussratencharakterisierung
    • 100% Sichtprüfung auf Absplitterungen, Mikrorisse, Einschlüsse und Kontamination
    • Reinheitszertifikate und Materialrückverfolgbarkeit verfügbar

    Anwendungen

    Prozessgasinjektion und -verteilung, Zuführung von ALD/CVD-Precursoren. Sprüh-Ätzen/Spülen, mikrofluidische Mischung und Dosierung, Dampf-/Flüssigkeitsverteiler für analytische Instrumente und hochreine Chemikalienleitungen.

    Verpackung und Lagerung

    Antistatische, vakuumversiegelte Verpackung mit stoßdämpfendem Schaum und Schutzkappen an Anschlüssen und Öffnungen. Trocken lagern (<40% RH) bei 10–30 °C; fern von HF-haltigen Chemikalien.

    Hinweise
    Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
    Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

    Schnelle Anfrage

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    Rund um die Uhr per E‑Mail oder Telefon erreichbar, um Sie beim Kauf unserer Quarzglasprodukte, bei Lösungen, bei Anwendungsproblemen oder mit technischem Support zu unterstützen.

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