Greifer aus geschmolzenem Quarz & Wafer-Handhabungswerkzeuge

  • White gloved hand holding a custom-shaped frosted Fused Quartz mechanical gripper.
  • White gloved hand holding a custom-shaped frosted Fused Quartz mechanical gripper.
  • Frosted Fused Quartz handling tool with a wide arch and slotted top section.

    • Greifer aus geschmolzenem Quarz & Wafer-Handhabungswerkzeuge

    Kundenspezische Greifer und Endeffektoren aus geschmolzenem Quarz, entwickelt für ultra-saubere Wafer-Handhabung und präzisen Bauteiltransfer in der Halbleiter- und Reinraum-Automatisierung. Aus hochreinem geschmolzenem Quarz gefertigt und verarbeitet, um eine geringe Partikelbildung zu gewährleisten, bieten diese Werkzeuge exzellente chemische Inertheit, thermische Stabilität und einen glatten, kratzfreien Kontakt mit empfindlichen Substraten.

    Kostenlose Anfrage stellen

    Angaben für ein Angebot

    • Eine Zeichnung (PDF/STEP) wird bereitgestellt oder es werden Schlüsselabmessungen angegeben. Abmessungen: Gesamtabmessungen, Öffnung der Gabel und Kehlebreite, Breite des Kontaktpads und Dicke.
    • Wafergröße und Handhabungsmethode (manuell/robotisch), Montagemuster oder Griff-Schnittstelle
    • Kanten- und Oberflächenanforderungen: Abrunden/Abschräfen, polierte Kontaktflächen, rutschfeste Textur bei Bedarf
    • Betriebsumgebung: Chemikalien, Temperatur, Vakuum-/Reinraumklasse; ESD- oder lichtblockierende Anforderungen, falls vorhanden.
    • Kritische Toleranzen (Planität, Parallelität, Symmetrie) und zulässige Durchbiegung
    • Menge (Prototyp oder Charge); Prüfberichte und Verpackungsstufe

    Wesentliche Spezifikationen

    • Material: Hochreines Quarzglas (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
    • Geometrie: Y-Gabel / U-Gabel / Paddel / Kelle / ringförmiger Endeffektor; einteilig oder mit Rippen zur Steifigkeit aufgebaut. Verfügbar als einteiliges Teil oder als Aufbau mit Rippen zur Erhöhung der Steifigkeit.
    • Abmessungen: Nach Zeichnung (auf Bestellung); ausgewogenes Gewicht und Schwerpunkt für manuelle oder robotische Nutzung
    • Kontaktbereiche: Vollständig polierte, partikelarme Oberflächen; abgerundete Kanten zum Schutz der Waferkante und der Kerbe
    • Eigenschaften: Ausrichtungsnuten, Reliefvertiefungen für Rückseitenmerkmale, Vakuum-Slots/Aussparungen, Griff- oder Roboter-Montagebohrungen, Konusvertiefungen, Laserkennung
    • Kanten- und Oberflächenfinish: 【正文】Feuerpolierte Kanten; geglättete oder optisch polierte Funktionsflächen; optionale Mikrostruktur für Griffigkeit
    • Sauberkeit: Ultraschall/DI-Reinigung; Class-100-kompatible Verpackung

    Materialeigenschaften (typisch)

    • Ausgezeichnete chemische Beständigkeit (Hinweis: HF greift geschmolzenen Quarz an)
    • Sehr geringe thermische Ausdehnung und gute Thermoschockbeständigkeit
    • Elektrisch isolierend, geringe Ausgasung. Optisch saubere Oberfläche für kontaminationsempfindliche Handhabung.

    Verarbeitungs- und Designhinweise

    • Verwenden Sie großzügige Kantenradien und polierte Kontaktpads, um Mikroabplatzungen und Kratzer zu verhindern
    • Behalte die Symmetrie der Gabel und die Breite der Kehle konsistent, um eine gleichmäßige Unterstützung zu gewährleisten. Füge Rippen hinzu, wo Festigkeit erforderlich ist.
    • Stellen Sie das Montagemuster oder die Griffgeometrie bereit, die mit Ihren Werkzeugen/Robotern kompatibel ist
    • Reliefs hinzufügen, um Kontakt mit den Rückseitenfilmen, Erhebungen oder Referenzmarken zu vermeiden
    • Wir können praxisnahe Toleranzen für Ebenheit, Parallellität und Durchbiegung basierend auf Größe und Geometrie empfehlen.

    Inspektion und Prüfung

    • Dimensionsprüfung: Gesamtmaße, Gabelöffnung, Dicke, Montagemuster
    • Ebenheits- und Parallelitätsprüfungen an Kontaktflächen
    • 100% visuelle Prüfung von Chips, Mikrorissen und Verunreinigungen. Optionale Birefringenz- und Spannungsprüfung
    • Reinheitsprüfbericht auf Anfrage

    Anwendungen

    Manuelle und robotische Beladung/Ausladung von Wafern, Messtechnik und Inspektion, Reinigung und Transfer am Nassbankbereich, Carrier/FOUP/SMIF-Operationen, präzise Handhabung zerbrechlicher Glas-/Keramikkomponenten

    Verpackung und Lagerung

    Schutzvorrichtungen und Trenner für Kontaktflächen; antistatische, vakuumversiegelte Verpackung mit robuster Außenverpackung. Trocken lagern (<40% relative Feuchte) bei 10–30 °C und fern von HF-haltigen Chemikalien.

    Hinweise
    Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
    Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

    Schnelle Anfrage

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