Geschmolzener Quarz Reaktoren, Wärmetauscher & Bubblers

  • Clear Fused Quartz multi-tube reactor with top inlets/outlets and a side arm.
  • Stacked, frosted Fused Quartz plates with supporting posts, possibly for gas distribution.
  • Frosted Fused Quartz process vessel with internal vertical rods and a tiered base.
  • Clear Fused Quartz inline reactor or heat exchanger with multiple internal tubes and end connectors.

    • Geschmolzener Quarz Reaktoren, Wärmetauscher & Bubblers

    Individuell gefertigte Reaktoren aus geschmolzenem Quarz, Wärmeübertrager und Bubbler, entwickelt für Halbleiterwerkzeuge, chemische Verarbeitung und Laboranwendungen. Aus ultrahochreinem geschmolzenem Siliziumdioxid gefertigt und durch präzise Flammenfusion montiert, bieten diese komplexen Bauteile herausragende chemische Beständigkeit, thermische Stabilität sowie eine saubere, präzise Steuerung von Flüssigkeiten/Dämpfen im Vakuum und in Hochtemperaturumgebungen.

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    Angaben für ein Angebot

    • Zeichnung (PDF/STEP) oder Schlüsselmaße und Anordnung (Außen-Ø/Innen-Ø des Rohrs, Längen, Geometrie der Spule oder des Bündels, Behältergröße)
    • Prozessbedingungen: Gase/Chemikalien, maximale Temperatur, Vakuumniveau/zulässiger Druck, Ziel-Durchflussraten und Wärmelast
    • Verbindungstypen: Glastüllen, Kugelgelenke, KF-/ISO-/CF-Flansche oder maßgeschneiderte Adapter
    • Innere Merkmale: Länge des Dip-Tubes, Sparger/Mehrloch-Diffusor, Baffles, Spulen/Gehäuse, Thermowell/Beobachtungsluken.
    • Kritische Toleranzen: Konzentrizität, Geradheit, Parallelität, Spezifikation der Leckrate
    • Menge (Prototyp oder Charge). Inspektionsberichte erforderlich; Verpackung/Reinheitsgrad.

    Wesentliche Spezifikationen

    • Material: Hochreines Quarzglas (SiO₂); Materialzertifikat auf Anfrage erhältlich
    • Konfigurationen:
      Reaktoren: Rechte oder mantelgekühlte Gefäße, Mehrport-Verteiler, integrierte Spulen oder Trennbleche.
      Wärmetauscher Spulen-, Serpentin- oder Rohr-in-Rohr-Stile; Mehrrohr-Bündel; Einlass-/Auslass-Verteiler
      Bubbler: Designs mit einem einzelnen oder doppelten Port mit internem Eintauchrohr/Dispersionseinheit; Dampfauslass oberhalb des Flüssigkeitsspiegels
    • Anschlüsse: Standard-Taper-Verbindungen, Kugel-/Sockelverbindungen, KF/ISO/CF-Flansche, Schlauchstutzen mit Zapfen oder kundenspezifische Endstücke.
    • Montage: Präzisionsflammenverschmolzene Verbindungen und Übergänge; Spannungsarmglühen erhältlich
    • Oberfläche und Sauberkeit: Glatte, splitterfreie Kanten; Ultraschall-/DI-Reinigung; Verpackung kompatibel mit Klasse-100
    • Gestaltungsgrenzen Nach Zeichnung; vorgesehen für Vakuum- oder Niedrigdruckbetrieb—Druckkennwerte werden durch Entwurf und Prüfplan definiert.

    Materialeigenschaften (typisch)

    • Außergewöhnliche chemische Inaktivität (Hinweis: HF greift geschmolzenes Quarzglas an)
    • Hohe thermische Stabilität mit sehr geringer Wärmeausdehnung
    • Elektrisch isolierend, geringe Gasabgabe; optisch saubere Oberflächen geeignet für Anwendungen mit höchster Reinheit.

    Verarbeitungs- und Designhinweise

    • Verwenden Sie großzügige Radien an den Verbindungen, um Spannungen und Partikelfallen zu reduzieren
    • Fügen Sie Entlüftungen hinzu, um virtuelle Lecks in Vakuumpfaden zu vermeiden; geben Sie das gewünschte Leckratenziel an.
    • Spulenversatz, Rohrabstand und Wanddicke sollten den erforderlichen Wärmeübertrag und den Druckverlust widerspiegeln
    • Für Bubbler definieren Sie den Flüssigkeitsstand, die Eintauchtiefe des Dip-Rohrs und die gewünschte Blasengröße (Diffusortyp).
    • Standards für Dichtungen und Flansche auswählen, passend zur nachgelagerten Ausrüstung und zur Wartungspraxis

    Inspektion und Prüfung

    • Dimensionsprüfung (Außendurchmesser/Innendurchmesser des Rohrs, Längen, Spulen-Geometrie, Positionen der Anschlüsse)
    • Helium-Lecktest auf Anfrage (Vakuumdienst); optionale Fluss-/Druckhalt-Test gemäß Auslegung
    • Birefringenz- und Spannungsprüfung. Visuelle Prüfung auf Chips, Risse, Inklusionen und Verunreinigungen.
    • Reinheitsprüfung und Verpackungszertifikate erhältlich

    Anwendungen

    ALD/CVD-Precursorzuführung (bubbler), Dampf-Generierung und Gaswäsche, Wärmeübertragung in korrosiven oder hochreinen Leitungen, Mikroreaktoren, Labor- und Pilotmaßstabsverarbeitung

    Verpackung und Lagerung

    Antistatische, vakuumverpackte Verpackung mit stoßabsorbierendem Schaum und festem Schutz für empfindliche Bauteile. Lagern Sie trocken (<40% RH) bei 10–30 °C und vermeiden Sie den Kontakt mit Chemikalien, die HF enthalten.

    Hinweise
    Maßgeschneiderte Konfigurationen (Bohrmuster, Beschichtungen oder zusätzliche Kennzeichnungen) auf Anfrage verfügbar.
    Konformitätszertifikate (RoHS, ISO 9001) bei Großbestellungen

    Schnelle Anfrage

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