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Ofenrohre aus geschmolzenem Quarz für CVD von Halbleitern
Unsere hochreinen geschmolzenen Quarzrohre sind maßgeschneidert für anspruchsvolle Wafer-Verarbeitung, Hochtemperatur-Annealing, CVD und Diffusionsöfen. Diese robusten Röhren halten Temperaturen bis zu 1200°C (Spitzenwert 1450°C) aus, sind beständig gegen Säuren und korrosive Gase und bieten eine geringe Wärmedehnung für dimensionale Stabilität in Vakuum- oder Niederdruckumgebungen; individuelle Modifikationen sind erhältlich.
Material-Spezifikationen
- Primärmaterial: geschmolzener Quarz/Quarzglas (SiO₂ ≥ 99.9%)
- Dichte 2.2 g/cm³
- Thermische Stabilität Beständig gegen Thermoschock bis 1200°C (Dauergebrauch)
Abmessungen
- Außendurchmesser: 415 mm / ±1.5 mm
- Innendurchmesser: 405 mm / ±1.0 mm
- Wandstärke: 5 mm / ±0.5 mm
- Länge: 2300 mm / ±5 mm
Technische Parameter
- Maximale Betriebstemperatur: 1200°C (Kurzzeit-Peak: 1450°C)
- Druckfestigkeit: Widersteht 1 atm (Vakuum- oder druckarme Umgebungen)
- Wärmeausdehnungskoeffizient: 0.55 × 10⁻⁶ /°C (20–1000°C)
- Oberflächenfinish: Glatt, porenfrei, säuregewaschen
Schlüsselmerkmale
- Ultra-hohe Reinheit für kontaminationsempfindliche Prozesse
- Ausgezeichnete chemische Beständigkeit gegenüber Säuren, Halogenen und den meisten korrosiven Gasen
- Geringe thermische Ausdehnung sorgt für Dimensionalstabilität
Anwendungen
- Verarbeitung von Halbleiter-Wafern
- Hochtemperatur-Glühen, CVD- oder Diffusionsöfen
- Laborforschung und optische Industrien
Verpackung und Handhabung
- Verpackung: Holzkiste mit Schaumstoffpolsterung
- Lagerung: Trocken halten, direkte Sonneneinstrahlung vermeiden und horizontal lagern
Hinweise
- Vermeiden Sie mechanische Stöße oder schnelle Temperaturänderungen (>200°C/min)
- Individuelle Modifikationen (z. B. Flansche, Beschichtungen) auf Anfrage erhältlich.
Für detaillierten technischen Support oder Großaufträge wenden Sie sich bitte an unser Ingenieurteam.
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