اتصل بنا: +86 0518-87284110
الكوارتز المنصهر فوهات & مُحقِنات السوائل لأشباه الموصلات
فوهات ومحقنات سائل مصممة بدقة ومخصصة من الكوارتز المنصهر، صممت لتلبية متطلبات التطبيقات الدقيقة في أشباه الموصلات وALD/CVD والمعالجة الكيميائية. هذه المكوّنات عالية النقاء توفر خاملة كيميائية استثنائية، واستقراراً حرارياً، وإيصالاً دقيقاً للسوائل، مما يضمن أداءً مثالياً في بيئات حرجة.
ما الذي يجب تقديمه لطلب عرض سعر
- رسم (PDF/STEP) أو الأبعاد الرئيسية (OD / ID / الطول)
- تفاصيل الثقب: القطر، الكمية، التباعد، الموضع؛ نمط الطرف؛ وجود منافذ جانبية
- بيئة التشغيل: فراغ / بلازما / مواد كيميائية؛ أقصى درجة حرارة؛ سلوك التدفق المستهدف.
- التفاوتات الحرجة ومتطلبات تشطيب السطح
المواصفات الرئيسية
- المادة: كوارتز منصهر عالي النقاء (كوارتز، SiO₂)؛ شهادة المواد متاحة عند الطلب
- الهندسة: مستقيم / متدرّج / مخروطي / على شكل L؛ مخصص تماماً وفق الرسم
- الأبعاد: بحسب الرسم (وفق الطلب); سماكة جدار موحدة وفق التصميم
- نصائح وفتحات: ثقب واحد أو عدة فتحات، محفورة بالليزر أو منقوشة بالليزر؛ الحجم والتباعد وفق الرسم
- المزايا: مصفوفات الثقب الجانبي، منافذ جانبية، فلانجات/خيوط/أطواق، أغطية طرف أو نهايات نصف كروية (اختياري).
- تشطيب السطح: مصقول بالنار / مطحون / مصقول (OD/ID) حسب الحاجة؛ حواف خالية من الزوائد
- الاستقامة والتمركز: حسب الرسم؛ يعتمد على الهندسة (يمكننا تقديم توصيات بتفاوتات مقبولة)
- النظافة: تنظيف بالموجات فوق الصوتية; تغليف متوافق مع الفئة 100; حمايات رؤوس
- التمييز: معرف قطعة الليزر أو اتجاه التدفق عند الطلب
خصائص المادة (نموذجية)
- نفاذية ضوئية عالية وتوسع حراري منخفض جدًا
- مقاومة كيميائية ممتازة تجاه الأحماض والقلويات والمذيبات العضوية (باستثناء HF)
- ثابت عند درجات حرارة عالية ودورات حرارية متكررة
- عزل كهربائي وانبعاث غازات منخفضة لعمليات نظيفة
التطبيقات
توريد مُسبّبات ALD/CVD، وأدوات البلازما، وميكرو-المفاعلات، وأدوات التحليل. جرعات كيميائية دقيقة في الفراغ أو في بيئات ذات درجات حرارة عالية.
ملاحظات المعالجة والتصميم
- فتحات مُنتجة عبر الحفر/النقش بالليزر؛ حواف خالية من النتوءات وخالية من الشرائح
- التلدين لتخفيف الإجهاد والتنظيف الحمضي متاحان
- يُوصى بإجراء تقويس عند التحولات الحادة لتقليل تركيز الإجهاد
- يتم التحكم في التمركز/الاستقامة وفقًا للرسم؛ تتوفر نصائح عملية حول التحملات
الفحص والاختبار
- فحص الأبعاد: القطر الخارجي/القطر الداخلي/الطول؛ حجم الثقب وتباعده
- اختبارات اختيارية: فحص تسرب الهيليوم (للتجميعات ذات الفراغ)، التحقق من معدل التدفق، فحص ثنائي الانكسار/الإجهاد.
- فحص بصري بنسبة 100% للشظايا والتشققات والتلوث
التغليف والتخزين
- عبوة مضادة للكهرباء الساكنة ومختومة بالفراغ مع رغوة ماصة للصدمات وحماية الطرف. احفظها في بيئة جافة (<40% RH) عند 10–30 °C.
ملاحظات
تتوفر تكوينات مخصصة (أنماط فتحات، طلاءات أو علامات إضافية) عند الطلب.
شهادات الامتثال (RoHS, ISO 9001) مرفقة مع الطلبات بالجملة
العربية 
English 
Español 
Français 
Deutsch 
Русский 
Português do Brasil 
日本語 
한국어 
繁體中文