Fused Quartz Vacuum Chucks & Handling Plates

  • Close-up of a clear Fused Quartz plate with complex internal fluidic channels and two circular ports, held by a gloved hand
  • Clear Fused Quartz rectangular frame or support component with a large central cutout and multiple perimeter holes.
  • Top-down view of a clear, square Fused Quartz plate with an intricate concentric circular and radial etched pattern, resembling a fan guard
  • Clear, rectangular Fused Quartz plate with a precise grid of small square openings and circular standoffs, held by a gloved hand.

    • Fused Quartz Vacuum Chucks & Handling Plates

    Our precision custom Fused Quartz vacuum chucks, plates, and handling fixtures are engineered for demanding applications in semiconductor wafer processing, etching, and other high-tech industries. Crafted from high-purity Fused Quartz, these components ensure contamination-free, scratch-free handling, offering exceptional thermal stability and chemical inertness for reliable performance in vacuum and high-temperature environments

    اطلب استشارة مجانية

    Basic Dimensions

    • Outer Diameter (OD): 300.0 mm ±0.1
    • Inner Diameter (ID): 210.0 mm ±0.1
    • Height (H): 6.35 mm ±0.05

    خصائص المادة

    • المادة الأساسية: Al₂O₃ (خزف الألومينا) / اختياري: ZrO₂, Si₃N₄
    • الكثافة ≥3.90 g/cm³
    • قوة الانحناء: ≥350 MPa
    • الموصلية الحرارية: 24-30 W/(m·K)
    • قوة العزل الكهربائي: ≥15 kV/mm

    التسامح وجودة السطح

    • التمركز المحوري: ≤0.05 mm (القطر الخارجي مقابل القطر الداخلي)
    • التوازي ≤0.03 mm (السطوح العلوية/السفلية)
    • خشونة سطح: Ra ≤0.4 μm

    اختبارات الأداء الرئيسية

    • فحص الأبعاد: وفق ISO 286-2
    • اختبار معدل التسرب ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (طيف الكتلة لهيليوم)
    • المقاومة للصدمات الحرارية: ΔT ≥300°C (5 دورات، بدون تشققات)

    التطبيقات

    • معالجة أشباه الموصلات: أحواض فراغية، مكونات النحت البلازمي
    • بيئات ذات درجات حرارة عالية: ≤1600°C (يعتمد على المادة)

    التعبئة والمناولة

    • تغليف غرفة نظيفة الفئة 100 أو أعلى
    • مضاد للكهرباء الساكنة حاويات مضادة لـ ESD

    بيان المطابقة
    يتوافق مع SEMI F47-0706 (مكوّنات سيراميكية لمعدات أشباه الموصلات)

    إخلاء المسؤولية
    التخصيص متاح عند الطلب. المعلمات الحرجة المميزة بـ “□” تتطلب تأكيداً صريحاً.

    استفسار سريع

    إذا رغبت في معرفة المزيد الكوارتز المنصهر أو تبحث عن حلول للكوارتز المنصهر؟ اتصل بنا للخدمات المهنية

    متاحون على مدار الساعة 24/7 عبر البريد الإلكتروني أو الهاتف لمساعدتك في شراء منتجاتنا من زجاج الكوارتز، أو في الحلول، أو في مشكلات الاستخدام، أو لتقديم الدعم الفني.

    الاسم (نسخة)
    arالعربية
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch ru_RUРусский pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 arالعربية