اتصل بنا: +86 0518-87284110
أحواض وأسس وقوارب الرقائق من الكوارتز المنصهر لمعالجة الرقائق
أحواض كوارتز منصهر مخصصة وقواعد وقوارب رقاقة مصممة لتسهيل مناولة الرقائق في بنوك رطبة، والتخريش، وCVD/الانتشار، والتنظيف، والعمليات عالية الحرارة. مصنوعة من كوارتز منصهر عالي النقاء ومُشكلة بدقة وفق رسمك، توفر هذه الحوامل ثباتاً حرارياً استثنائياً ومقاومة كيميائية سطحية، وأسطح تماس ناعمة، وأداءاً نظيفاً في بيئات حاسمة.
ما الذي يجب تقديمه لطلب عرض سعر
- رسم (PDF/STEP) أو أبعاد رئيسية (الطول × العرض × الارتفاع، سمك الجدار)
- حجم الرقاقة وسعتها (تصميم مواقع الفتحات/الجيوب/الأعمدة، الخطوة، التباعد)
- الميزات المطلوبة: فتحات التصريف، حواجز الفيضان، أضلاع، مقابض، أرجل/مساند، أغطية، علامات التعريف.
- متطلبات الحواف ونهاية السطح (زاوية مائلة/تشطيب، أسطح مطحونة أو مصقولة)
- بيئة التشغيل (المواد الكيميائية، المختبر المبلل/العملية الحرارية)، الحد الأقصى لدرجة الحرارة، المستوى المستهدف للنظافة
- التفاوتات الحرجة وأهداف الاستواء/التوازي
- الكمية (نموذج أولي أم دفعة)، تقارير التفتيش مطلوبة ومستوى التغليف
المواصفات الرئيسية
- المادة: كوارتز منصهر عالي النقاء (SiO₂); شهادة المادة متاحة عند الطلب
- الهندسة: صواني مستطيلة/بيضاوية/دائرية، قواعد وقوارب الرقائق؛ فتحات مدمجة، جيوب، أعمدة أو أضلاع وفق الرسم.
- الأبعاد: وفقاً للرسم (مصنوع حسب الطلب). سمك جدار موحّد وأقسام معزّزة حسب الحاجة.
- تشطيب السطح: الحواف المصقولة بالنار. الأسطح الداخلية مصقولة أو مخرَّمة لتقليل توليد الجسيمات؛ حواف خالية من الشوائب وتنعيم الانحناءات.
- ميزات الفتحة والعمود عدد الفتحات وتباعدها المخصص، عمق التجويف، قطر/ارتفاع الأعمدة؛ زوايا مدورة لحماية الوافر
- التصريف والتدفق: فتحات صرف، أخاديد، أو حواجز تصريف زائدة مصممة لتبادل كيميائي فعال وتجفيف.
- خصائص المناولة: مقابض يدوية، نُقرات المحاذاة، وأرجل/مساند تثبيت لضمان وضع ثابت؛ علامات تعريف بالليزر وعلامات تدفق اختيارية.
- التركيب: معالجة دقيقة ومجمّعات ملتصقة باللهب؛ التلدين لإزالة الإجهاد متاح
- النظافة: شطف بالموجات فوق الصوتية/DI؛ تغليف متوافق مع Class-100
خصائص المادة (نموذجية)
- نقاء عالٍ وانبعاث غازات منخفض للاستخدام في غرف نظيفة
- مقاومة كيميائية ممتازة لمعظم الأحماض/القلويات والمذيبات العضوية. ملاحظة: الكوارتز المنصهر ليس مقاومًا لـ HF
- التوسع الحراري منخفض جدًا، تحمل صدمات حرارية جيدة، واستقرار عند درجات حرارة عالية.
- عزل كهربائي وجودة سطح عالية
ملاحظات المعالجة والتصميم
- يفضّل أن تكون سماكة الجدار متسقة ونصف القطر الداخلي الكبير لتقليل الإجهاد ومصائد الجسيمات
- الأضلاع السفلية أو الإطارات يمكن أن تُحسن الصلابة والاستواء للأحجام الكبيرة
- يتم اختيار تشطيب السطح (خشن مقابل مصقول) بناءً على نظافة العملية ومتطلبات المنااولة.
- يمكننا تقديم حدود قبول عملية لتجانس الفجوة/الخطوة، التسطّح والتوازي، اعتماداً على الحجم والهندسة.
الفحص والاختبار
- فحص الأبعاد: الطول/العرض/الارتفاع؛ خطوة/مسافة الفتحات والدعامات وارتفاعها. عمق الجيب؛ الاستواء/التوازي
- الفحص البصري: تحقق بنسبة 100% من الشقوق والشظايا والشوائب والتلوث
- اختياري: فحص ثنائي الانكسار/الإجهاد. فحص تشطيب السطح وتقرير فحص النظافة.
التطبيقات
تنظيف الرقائق وتخريشها، المعالجة على منصة رطبة. التحميل بالدفعات لـ CVD/الانتشار/التلدين، ونقل الرقائق وتخزينها مؤقتاً، ومعالجة كيميائية دقيقة
التغليف والتخزين
عبوة مضادة للكهرباء الساكنة محكمة الإغلاق بالفراغ مع فوم امتصاص الصدمات وحماية خارجية صلبة. احفظها جافة (<40% RH) عند 10–30 °C؛ تجنّب المواد الكيميائية التي تحتوي على HF أثناء التخزين.
ملاحظات
تتوفر تكوينات مخصصة (أنماط فتحات، طلاءات أو علامات إضافية) عند الطلب.
شهادات الامتثال (RoHS, ISO 9001) مرفقة مع الطلبات بالجملة