خواتم التركيز والبلازما للكوارتز المنصهر للحفر وCVD

خواتم التركيز والبلازما للكوارتز المنصهر للحفر وCVD

أطواق تركيز من الكوارتز المنصهر مصممة حسب الطلب (وتسمّى أيضًا أطواق الحافة، وأطواق الاحتواء، وأطواق البلازما، أو أطواق الظل) مصممة لعمليات النحت بالبلازما، CVD (الترسيب الكيميائي في الطور البخاري)، وغيرها من عمليات الفراغ. مصنوعة من السيليكا المنصهرة عالية النقاء ومصقولة بدقة وفق رسوماتك، توفر هذه الأطواق مقاومة ممتازة للبلازما، وثبات حراري، وتحكم أبعاد دقيق، مما يساعد في الحفاظ على اتساق العملية وتقليل التلوث داخل غرف حاسمة.

اطلب استشارة مجانية

ما الذي يجب تقديمه لطلب عرض سعر

• رسم (PDF/STEP) أو أبعاد رئيسية: القطر الخارجي، القطر الداخلي، السماكة، ارتفاعات وعروض المراحل.
• حجم واتجاه الرقاقة (مثلاً 200/300 مم؛ موضع الشق)، الفجوة المستهدفة بين الحلقة والوافر.
• الميزات: درجات/حواف، جيوب، هندسة التثبيت أو الظل، فتحات التهوية، ثقوب البرغي، ثقوب مخروطة، شقوق المحاذاة
• تفاصيل الحواف ونهاية السطح (فَسة/ميل؛ أسطح مطحونة أو مصقولة)
• شروط التشغيل: كيمياء البلازما، القدرة، درجة الحرارة، العمر الافتراضي/التحمّل من التآكل
• التسامحات الحرجة: التسطّح، التوازي، التمركز، انحراف دوران
• الكمية (نموذج أولي أو دفعة)، تقارير الفحص المطلوبة، مستوى التغليف

المواصفات الرئيسية

• المادة: كوارتز منصهر عالي النقاء (SiO₂); شهادة المادة متاحة عند الطلب
• الهندسة: خواتم مسطحة، خواتم مدرجة/بالحواف، شرائح متعددة القطع، خواتم الاحتواء/الظل — مصممة وفقاً للرسم تماماً.
• الأبعاد: وفقاً للرسم (تصنيع حسب الطلب)؛ سماكة مقطع موحدة من أجل الاستقرار الحراري
• الميزات الوظيفية شفاه الظلال، أسطح التثبيت، خطوات وضع الرقاقة، فتحات التدفق والتهوية لمعادلة الضغط
• الحافة والسطح حواف مطلية بالنار؛ أسطح وظيفية مطحونة أو مصقولة؛ أقطار ناعمة لتقليل توليد الجسيمات
• المحاذاة والتركيب: شقوق/مفاتيح، ثقوب مائلة الرأس، مراجع داتوم، معرف قطعة الليزر/اتجاه التدفق عند الطلب
• النظافة: تنظيف بالموجات فوق الصوتية/DI; تغليف متوافق مع Class-100

خصائص المادة (نموذجية)

• انخفاض التمدد الحراري ومقاومة عالية للصدمات الحرارية
• مقاومة كيميائية استثنائية لمعظم غازات العملية؛ لاحظ أن HF يهاجم الكوارتز المنصهر
• عازل كهربائي، مع انخفاض انبعاث الغازات؛ أسطح بصرية نظيفة

ملاحظات المعالجة والتصميم

• حافظ على اتساق التباعد بين الحلقة والرقاقة وارتفاعات الخطوات لضمان توزيع متجانس للبلازما.
• أضف نصف القطر الداخلي الكبير عند الانتقالات لتقليل الإجهاد وفخاخ الجسيمات
• فتحات تمرير مهوّاة مع Counterbore وتعرض للفراغ لمنع التسريبات الافتراضية
• اختر إنهاء السطح وفقًا لنظافة العملية ومتطلبات التثبيت/الظل
• يمكننا تقديم توصيات بتسامحات مناسبة للسطح المستوي، والتوازي، والتوازي المحوري، وانحراف الدوران بناءً على الحجم/الهندسة

الفحص والاختبار

• التحقق البُعدي (CMM/بصري): OD/ID/سُمك، ارتفاعات وعروض الخطوات، ميزات الفجوات
• فحص المسطحية/التوازي والانحراف الدائري مقابل الأسطح المرجعية
• فحص بصري: فحص 100% لشرائح/شظايا، وشقوق دقيقة، وشوائب، والتلوث.
• اختياري: تقييم ثنائية الانكسار/الإجهاد؛ التحقق من إنهاء سطح؛ تقرير النظافة

التطبيقات

النحت بالبلزما ICP/RIE/DRIE、PECVD/CVD、كحلقات الحافة والتركيز والظل، ومكونات الاحتواء. لمنصات شرائح بحجم 150–300 مم وركائز مخصصة.

التغليف والتخزين

عبوة مضادة للكهرباء الساكنة مع إحكام تفريغ الهواء وتوفير حماية صلبة؛ فواصل حلقيّة لمنع الاتصال بالحواف. احفظها جافة (<40% RH) عند 10–30 °C؛ ابتعد عن المواد الكيميائية التي تحتوي على HF.

استفسار سريع

إذا رغبت في معرفة المزيد الكوارتز المنصهر أو تبحث عن حلول للكوارتز المنصهر؟ اتصل بنا للخدمات المهنية

متاحون على مدار الساعة 24/7 عبر البريد الإلكتروني أو الهاتف لمساعدتك في شراء منتجاتنا من زجاج الكوارتز، أو في الحلول، أو في مشكلات الاستخدام، أو لتقديم الدعم الفني.

请在浏览器中启用JavaScript来完成此表单。

الاسم (نسخة) *

前一页

后一页

البريد الإلكتروني *

نص بسطر واحد

تعليق أو رسالة *

إرسال رسالة