اتصل بنا: +86 0518-87284110
قضبان خزفية لتطبيقات أشباه الموصلات
قضبان وقضبان خزفية مصقولة بدقة، متوفرة بنقاء عالٍ من الألومينا (Al2O3)، والزركونيّا (ZrO2) أو نيتريد السيليكون (Si3N4)، مصممة لعمليات أشباه الموصلات، والفراغ، والتخريش بالبلازما. هذه المكونات عالية الأداء توفر خصائص حرارية وكهربائية وميكانيكية متفوقة، مما يضمن موثوقية في بيئات عالية الحرارة الحرجة.
أبعاد حسب الطلب
- حسب الرسم (أبعاد وهندسيات مخصصة)
خصائص المادة
- المادة الأساسية: Al₂O₃ (خزف الألومينا) / اختياري: ZrO₂, Si₃N₄
- الكثافة ≥3.90 g/cm³
- قوة الانحناء: ≥350 MPa
- الموصلية الحرارية: 24-30 W/(m·K)
- قوة العزل الكهربائي: ≥15 kV/mm
التسامح وجودة السطح
- التمركز المحوري: ≤0.05 mm (القطر الخارجي مقابل القطر الداخلي)
- التوازي ≤0.03 mm (السطوح العلوية/السفلية)
- خشونة سطح: Ra ≤0.4 μm
اختبارات الأداء الرئيسية
- فحص الأبعاد: وفق ISO 286-2
- اختبار معدل التسرب ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (طيف الكتلة لهيليوم)
- المقاومة للصدمات الحرارية: ΔT ≥300°C (5 دورات، بدون تشققات)
التطبيقات
- معالجة أشباه الموصلات: أحواض فراغية، مكونات النحت البلازمي
- بيئات ذات درجات حرارة عالية: ≤1600°C (يعتمد على المادة)
التعبئة والمناولة
- تغليف غرفة نظيفة الفئة 100 أو أعلى
- مضاد للكهرباء الساكنة حاويات مضادة لـ ESD
بيان المطابقة
يتوافق مع SEMI F47-0706 (مكوّنات سيراميكية لمعدات أشباه الموصلات)
إخلاء المسؤولية
التخصيص متاح عند الطلب. المعلمات الحرجة المميزة بـ “□” تتطلب تأكيداً صريحاً.
بيان المطابقة
يتوافق مع SEMI F47-0706 (مكوّنات سيراميكية لمعدات أشباه الموصلات)
إخلاء المسؤولية
التخصيص متاح عند الطلب. المعلمات الحرجة المميزة بـ “□” تتطلب تأكيداً صريحاً.