صفائح خزفية لعملية الحفر في أشباه الموصلات

صفائح خزفية لعملية الحفر في أشباه الموصلات

صفائح سيراميكية مُقاسة بدقة، متوفرة في ألومينا (Al2O3)، زركونيا (ZrO2) ونيتريد السيليكون (Si3N4)، مُصممة خصيصاً لعمليات أشباه الموصلات والفراغ والحفر بالبلازما. هذه الأجزاء عالية الأداء توفر خصائص حرارية وكهربية وميكانيكية استثنائية، وتضمن موثوقية في بيئات عالية الحرارة.

اطلب استشارة مجانية

أبعاد حسب الطلب

• حسب الرسم (أبعاد وهندسيات مخصصة)

خصائص المادة

• المادة الأساسية: Al₂O₃ (خزف الألومينا) / اختياري: ZrO₂, Si₃N₄
• الكثافة ≥3.90 g/cm³
• قوة الانحناء: ≥350 MPa
• الموصلية الحرارية: 24-30 W/(m·K)
• قوة العزل الكهربائي: ≥15 kV/mm

التسامح وجودة السطح

• التمركز المحوري: ≤0.05 mm (القطر الخارجي مقابل القطر الداخلي)
• التوازي ≤0.03 mm (السطوح العلوية/السفلية)
• خشونة سطح: Ra ≤0.4 μm

اختبارات الأداء الرئيسية

• فحص الأبعاد: وفق ISO 286-2
• اختبار معدل التسرب ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (طيف الكتلة لهيليوم)
• المقاومة للصدمات الحرارية: ΔT ≥300°C (5 دورات، بدون تشققات)

التطبيقات

• معالجة أشباه الموصلات: أحواض فراغية، مكونات النحت البلازمي
• بيئات ذات درجات حرارة عالية: ≤1600°C (يعتمد على المادة)

التعبئة والمناولة

• تغليف غرفة نظيفة الفئة 100 أو أعلى
• مضاد للكهرباء الساكنة حاويات مضادة لـ ESD

استفسار سريع

إذا رغبت في معرفة المزيد الكوارتز المنصهر أو تبحث عن حلول للكوارتز المنصهر؟ اتصل بنا للخدمات المهنية

متاحون على مدار الساعة 24/7 عبر البريد الإلكتروني أو الهاتف لمساعدتك في شراء منتجاتنا من زجاج الكوارتز، أو في الحلول، أو في مشكلات الاستخدام، أو لتقديم الدعم الفني.

请在浏览器中启用JavaScript来完成此表单。

الاسم (نسخة) *

前一页

后一页

البريد الإلكتروني *

نص بسطر واحد

تعليق أو رسالة *

إرسال رسالة