اتصل بنا: +86 0518-87284110
مكوّنات خزفية لأشباه الموصلات
مكوِّنات خزافية مخصّصة بدقة، مُصنّعة من ألومينا عالية النقاء (Al2O3) وزركونيوم (ZrO2) ونتريد السيليكون (Si3N4)، مصممة لتطبيقات صناعات أشباه الموصلات ذات متطلبات عالية ودرجات حرارة عالية وعمليات فراغ. توفر أداءً حراريًا وكهربائيًا وميكانيكيًا فائقًا؛ تعد قطعنا المصممة خصيصًا مثالية للبيئات الحرجة مثل النحت بالبلازما وغرف الفراغ.
Basic Dimensions
- حسب الرسم (أبعاد وهندسيات مخصصة)
خصائص المادة
- المادة الأساسية: Al₂O₃ (خزف الألومينا) / اختياري: ZrO₂, Si₃N₄
- الكثافة ≥3.90 g/cm³
- قوة الانحناء: ≥350 MPa
- الموصلية الحرارية: 24-30 W/(m·K)
- قوة العزل الكهربائي: ≥15 kV/mm
التسامح وجودة السطح
- التمركز المحوري: ≤0.05 mm (القطر الخارجي مقابل القطر الداخلي)
- التوازي ≤0.03 mm (السطوح العلوية/السفلية)
- خشونة سطح: Ra ≤0.4 μm
اختبارات الأداء الرئيسية
- فحص الأبعاد: وفق ISO 286-2
- اختبار معدل التسرب ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (طيف الكتلة لهيليوم)
- المقاومة للصدمات الحرارية: ΔT ≥300°C (5 دورات، بدون تشققات)
التطبيقات
- معالجة أشباه الموصلات: أحواض فراغية، مكونات النحت البلازمي
- بيئات ذات درجات حرارة عالية: ≤1600°C (يعتمد على المادة)
التعبئة والمناولة
- تغليف غرفة نظيفة الفئة 100 أو أعلى
- مضاد للكهرباء الساكنة حاويات مضادة لـ ESD
بيان المطابقة
يتوافق مع SEMI F47-0706 (مكوّنات سيراميكية لمعدات أشباه الموصلات)
إخلاء المسؤولية
التخصيص متاح عند الطلب. المعلمات الحرجة المميزة بـ “□” تتطلب تأكيداً صريحاً.