اتصل بنا: +86 0518-87284110
أغطية القبة وغطاءات العملية من الكوارتز المنصهر
أغطية قباب وأغطية عمليات من الكوارتز المنصهر لأدوات أشباه الموصلات عالية النقاء والتجميعات البصرية وحجرات درجات الحرارة العالية. مصنوعة من كوارتز منصهر عالي النقاء بحواف ناعمة خالية من التشققات، توفر هذه القباب استقرارًا حراريًا ممتازًا وخمولًا كيميائيًا وملاءمة دقيقة، مما يوفر رؤية واضحة وختمًا موثوقًا وحماية في البيئات الحساسة.
ما الذي يجب تقديمه لطلب عرض سعر
- قدم مخططًا (PDF/STEP) أو الأبعاد الأساسية: القطر الخارجي، قطر/عرض الشفة، ارتفاع الانحراف (نصف قطر الانحناء)، سمك الجدار.
- نمط القبة: نصف كروي، سطحي/عريض أو على شكل منيسكوس؛ مع أو بدون حافة أو حلقة؛ منطقة العرض شفافة أو مطفية.
- واجهة الختم: أبعاد/موضع أخدود حلقة O، عرض/تشطيب منطقة الختم، سطح الاقتران ونمط البراغي إن وُجد.
- المتطلبات البصرية (إن وجدت): مستوى التلميع في منطقة العرض، هدف scratch-dig، استواء/انحناء/عدم انتظام السطح.
- حدد ظروف التشغيل، بما في ذلك الفراغ/الضغط المسموح به، غازات/كيمياء العملية، أقصى درجة حرارة والدورات الحرارية، ومستوى النظافة المطلوب.
- التفاوتات الحرجة: انحراف/مركزية، توازي/استواء الشفة، تجانس السماكة، وتسامح ملفّ القبة.
- الكمية (نموذج أولي أو دفعة)، تقارير الفحص المطلوبة، ومستوى التغليف
المواصفات الرئيسية
- المادة: الكوارتز المنصهر عالي النقاء (SiO₂); شهادة المواد متاحة عند الطلب. يتوفر اختياريًا كوارتز منصهر بدرجة UV لنفاذية في نطاق الأشعة فوق البنفسجية العميق.
- الهندسة: قباب نصف كروية أو ضحلة؛ قباب ذات حواف/خواتم متكاملة؛ أغطية فتحات دائرية أو حسب الطلب؛ تجميعات أحادية الكتلة أو ملتحمة باللهب.
- الأسطح: مناطق عرض مصقولة بصريًا؛ أسطح ختم مطحونة/مصقولة؛ مناطق اختيارية ماتّة/منقوشة لنشر الضوء.
- الحواف: حواف مصقولة بالنار وأنصاف أقطار واسعة لتقليل تكون الجسيمات وحدوث التقشر.
- النظافة: تنظيف بالموجات فوق الصوتية/ماء منزوع الأيونات؛ تعبئة متوافقة مع Class-100
- ملاحظة الخدمة: عادةً للفراغ أو للضغط الموجب المنخفض. أي تصنيف ضغط يعتمد على التصميم والاختبارات.
خصائص المادة (نموذجية)
- انخفاض كبير في التمدد الحراري ومقاومة جيدة للصدمات الحرارية
- مقاومة كيميائية ممتازة لمعظم وسائط المعالجة (ملاحظة: HF يهاجم الكوارتز المنصهر)
- عازل كهربائياً مع انبعاث غازي منخفض؛ وضوح بصري عالي من UV إلى IR (يعتمد على الدرجة).
ملاحظات المعالجة والتصميم
- حدد ما إذا كان نصف قطر القبة يُشار إليه بالنسبة للسطح الداخلي أو الخارجي؛ احرص على أن يكون سمك الجدار موحدًا لتقليل الإجهاد.
- حدد تلميع منطقة العرض وأي مواصفات بصرية (مثلاً scratch-dig 60-40 أو أفضل) فقط حيث يلزم للسيطرة على التكلفة
- أضف فتحات تهوية إلى الفتحات المسدودة (ثقوب البراغي/التجويفات العميقة) التي تتعرض للفراغ لمنع التسريبات الافتراضية.
- استخدم أختام ومشابك مرنة واترك مجالاً للتمدد الحراري لتجنب الإجهاد أثناء الدورات الحرارية.
- يمكننا التوصية بتحمّلات ممكنة لارتفاع الملف/الهبوط، استواء/توازي الفلنجة، التمركز والانحراف الدوراني بناءً على الحجم.
الفحص والاختبار
- التحقق البُعْدي: OD، هندسة الفلانجة، ارتفاع/نصف قطر الانحناء، السماكة، حجم/موقع الأخدود، مواقع دائرة البراغي.
- فحوص التسطيح/التوازي على أسطح الختم؛ ملف القبة والانحراف الدوراني بالنسبة للمرجع
- فحص بصري لمنطقة العرض (جودة التلميع، العيوب) حسب المواصفات
- فحص بصري 100% للشظايا، والشروخ المجهرية، والاحتباسات/الشوائب، والتلوث. تقارير اختيارية عن النظافة وثنائية الانكسار/الإجهاد.
التطبيقات
عرض ومعالجة أغطية لـ etch/CVD/RTP وغرف التفريغ، النوافذ البصرية وبيوت المصابيح، الحماية من الرش/الجسيمات، وأغطية المفاعلات عالية الحرارة.
التغليف والتخزين
حواجز حواف وأغشية واقية على مناطق العرض/الختم؛ تعبئة مضادة للشحنات الساكنة، مغلفة بالتفريغ مع حماية خارجية صلبة. يخزن جافاً (<40% RH) عند 10–30 °C وبعيداً عن المواد الكيميائية التي تحتوي على HF.
ملاحظات
تتوفر تكوينات مخصصة (أنماط فتحات، طلاءات أو علامات إضافية) عند الطلب.
شهادات الامتثال (RoHS, ISO 9001) مرفقة مع الطلبات بالجملة
العربية 
English 
Español 
Français 
Deutsch 
Русский 
Português do Brasil 
日本語 
한국어 
繁體中文