دعامات من الكوارتز المنصهر وحوامل العمليات

دعامات من الكوارتز المنصهر وحوامل العمليات

الكوارتز المنصهر يدعم أطرًا وحوامل مصممة لمعالجة الرقائق، وعمليات CVD، وأدوات البلازما، ومقاعد العمل الرطبة، وأفران درجات الحرارة العالية. مصنوع من السيليكا المنصهرة عالية النقاء ومجمّع بواسطة الالتحام باللهب بدقة، توفّر هذه الأجهزة استقرارًا حراريًا ممتازًا ومتانة كيميائية وتحكمًا دقيقًا في الأبعاد— وتوفر دعمًا نظيفًا ومستقرًا ونقلًا موثوقًا في بيئات حاسمة.

اطلب استشارة مجانية

ما الذي يجب تقديمه لطلب عرض سعر

• رسم (PDF/STEP) أو الأبعاد الرئيسية: الحجم الكلي، قطر السكّة/العمود، ارتفاع الدعامة، نقاط الواجهة
• الحمولة والواجهة: حجم/وزن القطعة التي ستُحتجز (wafer/boat/substrate)، عدد نقاط الاتصال، المسافات الخلوص المستهدفة
• وضع الاستخدام: الدعم الثابت مقابل النقل/التعامل بالروبوت؛ نمط التثبيت أو تصميم الخَطاف/القدم
• البيئة: المواد الكيميائية، الفراغ/الضغط، الحد الأقصى لدرجة الحرارة وملف الدورة الحرارية
• السطح والتلامس: وسادات مصقولة مقابل إنهاء سطح مخشن؛ نصف قطر الحواف وقطوع الزوايا لمنع الخدش
• التفاوتات الحرجة: الاستواء/التربيع، التوازي، الانحراف المسموح به تحت الحمل
• الكمية (النموذج الأولي أو الدفعة)، تقارير الفحص مطلوبة، مستوى التغليف/النظافة

المواصفات الرئيسية

• المادة: كوارتز منصهر عالي النقاء (SiO₂); شهادة المادة متاحة عند الطلب
• الهندسة: إطارات، رفوف، مهود، ناقلات، حوامل ودعامات مقوّاة متقاطعة. مجمّعات أحادية القطع أو مدمجة باللهب
• الأبعاد: حسب الرسم (عند الطلب) بسمك مقطع موحد من أجل الاستقرار الحراري
• المزايا: فواصل/أرجل، أدلة/خطاطيف، مفاتيح المحاذاة أو الدبابيس، جيوب لتخفيف الوزن، فتحات التصريف/التهوية
• التركيب: معالجة دقيقة باتصالات ناعمة وخالية من الشرائح. متاح التلدين لإزالة الإجهاد.
• تشطيب السطح: حواف مصقullah بالنار؛ لوحات تلامس مصقولة لضمان التعامل بدون خدوش؛ أقطار بدون شوائب عند جميع نقاط التلامس
• النظافة: تنظيف بالموجات فوق الصوتية/DI؛ تغليف متوافق مع Class-100؛ معرّف ID لقطعة الليزر الاختيارية/علامة التوجيه

خصائص المادة (نموذجية)

• انخفاض كبير في التمدد الحراري ومقاومة جيدة للصدمات الحرارية
• مقاومة كيميائية ممتازة لمعظم وسائط المعالجة (ملاحظة: HF يهاجم الكوارتز المنصهر)
• عازل كهربائياً، مع انخفاض في انبعاث الغازات؛ أسطح نظيفة بصرياً للأدوات الحساسة للتلوث.

ملاحظات المعالجة والتصميم

• حافظ على اتساق سماكة الجدار والعمود وأضف أقواس نصف قطرية سخية عند المفاصل لتقليل تركيز الإجهاد
• تحديد حجم/تشطيب سطح لوحة التلامس والفجوة المسموحة مع الحمولة لتجنب microchips وفخاخ الجسيمات
• استخدم دعامات تقاطعية أو أضلاع عندما تكون الصلابة والانحراف المنخفض أمرين حاسمين؛ حدد الانحراف المستهدف تحت الحمل
• تهوئ تجاويف/فتحات عمياء معرضة للفراغ لمنع التسريبات الافتراضية
• يمكننا تقديم تسامحات عملية للسطح المستوي والتربيع والتوازي والانحراف المحوري بناءً على الحجم والهندسة والتحميل.

الفحص والاختبار

• التحقق البُعدي: الحجم الكلي، ارتفاع المسافة، تباعد القضبان والأنابيب، مواضع الثقوب؛ فحص الاستقامة والتوازي
• فحص بصري: فحص 100% لشرائح/شظايا، وشقوق دقيقة، وشوائب، والتلوث.
• اختياري: تقييم ثنائي الانكسار/الإجهاد؛ اختبار الحمل/الانحراف؛ تقرير النظافة

التطبيقات

قارب الرقائق ودعائم الركيزة، أُطر منطقة التسخين في الفرن، رفوف وبواكر المنضدة الرطبة، أجهزة النقل للمناولة روبوتيًا أو يدويًا، أجهزة المحاذاة والمسافات في أدوات CVD/Etch/Clean.

التغليف والتخزين

أغطية حماية عند نهايات الاتصالات، حواجز الحواف والفواصل؛ تغليف مضاد للكهرباء الساكنة مع إحكام الإغلاق بالفراغ، مع حماية خارجية صلبة. خزّن جافاً (<40% RH) عند 10–30 °C وبعيداً عن المواد الكيميائية التي تحتوي HF.

استفسار سريع

إذا رغبت في معرفة المزيد الكوارتز المنصهر أو تبحث عن حلول للكوارتز المنصهر؟ اتصل بنا للخدمات المهنية

متاحون على مدار الساعة 24/7 عبر البريد الإلكتروني أو الهاتف لمساعدتك في شراء منتجاتنا من زجاج الكوارتز، أو في الحلول، أو في مشكلات الاستخدام، أو لتقديم الدعم الفني.

请在浏览器中启用JavaScript来完成此表单。

الاسم (نسخة) *

前一页

后一页

البريد الإلكتروني *

نص بسطر واحد

تعليق أو رسالة *

إرسال رسالة