اتصل بنا: +86 0518-87284110
خواتم دعم عالية الدقة من الكوارتز المنصهر ومكوّنات العملية
حلقات دعم من الكوارتز المنصهر ومكوّنات عملية مصممة لتصنيع أشباه الموصلات، النقش البلازمي، وبيئات أخرى عالية الحرارة ونقاء عالٍ. مصنوعة من السيليكا المصهورة عالية النقاء ومصممة لتحسين الصلابة والتدفق، تزود هذه القطع باستقرار حراري استثنائي، ومقاومة كيميائية، وتحكم دقيق بأبعاد—ضمان دعم موثوق، وتباعد موثوق، وتدفق عملية.
ما الذي يجب تقديمه لطلب عرض سعر
- رسم (PDF/STEP) أو الأبعاد الأساسية: OD / ID / السماكة. أية درجات، شفّة أو حواف.
- وظيفة والواجهة: أجزاء التزاوج (المِقبِض/اللوح/الأنبوب)، الفجوة المستهدفة بين الحلقة والجزء، مناطق الختم والهبوط
- المزايا: دائرة البراغي وحجم/عدد الثقب؛ تفريغ مخروطي / ثقب أسطواني؛ مفاتيح المحاذاة/الشقوق؛ فتحات التهوية والتصريف
- تفاصيل التدفق والصلابة: أضلاع/فتحات/أعمدة تثبيت (الارتفاع/التباعد)، جيوب لتخفيف الوزن، متطلبات مسار تدفق الهواء.
- شروط التشغيل: كيمياء الفراغ/البلازما، أقصى درجة حرارة، هدف النظافة
- التسامحات الحرجة: الاستواء، التوازي، تمركز/انحراف دوران؛ تشطيب سطح الوجوه الوظيفية.
- الكمية (نموذج أولي أو دفعة)، تقارير الفحص المطلوبة، مستوى التغليف
المواصفات الرئيسية
- المادة: الكوارتز المنصهر عالي النقاء (SiO₂); شهادة المادة متاحة عند الطلب
- الهندسة: خواتم مسطحة أو مُدرَّجة؛ أنماط بلسان مزدوج/حافة مزدوجة؛ خواتم مع أضلاع/فتحات/دعائم؛ صفائح على شكل دونات بها فتحات؛ تجميعات أحادية القطع أو ملتصقة باللهب
- الأبعاد: حسب الرسم (عند الطلب) بسمك مقطع موحد من أجل الاستقرار الحراري
- ميزات التدفق والدعم أضلاع شعاعية وفتحات طولية من أجل تدفق غاز محكوم وصلابة. فتحات تهوية موزعة بشكل متساوٍ لمنع التسريبات الافتراضية وتحسين كفاءة التطهير.
- الحواف والأسطح: حواف مصقولة بالنار؛ أوجه وظيفية مسطحة ومصقولة؛ أقواس ناعمة لتقليل تكوّن الجسيمات
- المحاذاة والتركيب: أنماط براغي دقيقة، ثقوب مخروطية/ثقوب أسطوانية عميقة، ميزات دُول التثبيت؛ معرّف القطعة بالليزر وعلامة التوجيه اختيارية.
- النوع: كوارتز منصهر غير شفاف (OP) متاح حيث يلزم وجود حاجز حراري إضافي
- النظافة: تنظيف بالموجات فوق الصوتية/DI; تغليف متوافق مع Class-100
خصائص المادة (نموذجية)
- انخفاض كبير في التمدد الحراري ومقاومة جيدة للصدمات الحرارية
- مقاومة كيميائية ممتازة لمعظم وسائط المعالجة (ملاحظة: HF يهاجم الكوارتز المنصهر)
- عازل كهربائي، مع انخفاض في انبعاث الغازات؛ بصرياً نظيف عندما تكون الشفافية مطلوبة
ملاحظات المعالجة والتصميم
- احرص على سماكة جدار موحدة واستخدم أقطار داخلية واسعة لتقليل تركيز الإجهاد.
- حدد عرض سطح الهبوط/التشطيب وأي هندسة أخدود الحلقة O لضبط معدل التسرب المستهدف إذا استُخدم للختم
- فتحات تهوية كاتمة/ثقوب ذات خيوط معرضة للفراغ لتجنب التسريبات الافتراضية
- الأضلاع/المساند تعزز الصلابة والتباعد—حدد الارتفاع والسماكة والتباعد؛ أضف جيوب تقليل الوزن حيث تكون الكتلة مصدر قلق
- يمكننا تقديم تسامحات مقبولة في الاستواء، والتوازي، والتوازي المحوري، والانحراف الدوراني اعتماداً على الحجم والهندسة
الفحص والاختبار
- التحقق الهندسي للأبعاد: القطر الخارجي/القطر الداخلي/السُمك، ارتفاعات وعروض الخطوات. المسافة بين الأضلاع والفتحات، دائرة البراغي ومواقع الثقوب.
- فحوصات الاستواء والتوازي على السطوح المرجعية وسطوح الإغلاق؛ الانحراف الدائري مقارنة بالمرجع
- 100% فحص بصري للشظايا والشروخ الدقيقة والشوائب والتلوث
- اختياري: اختبار تسرب الهيليوم (التجميع)، التحقق من تشطيب السطح، تقييم ثنائي الانکسار والإجهاد، تقرير النظافة
التطبيقات
أطواق الدعم والفاصل على حوامل/ألواح، حلقات لضبط التدفق والتفريغ لأدوات البلازما/CVD، دروع ضد الرش/الجسيمات، حلقات المحاذاة والتعامل مع حاملي الرقائق/العمليات في بيئات عالية الحرارة أو قاسية للتآكل
التغليف والتخزين
حواجز الحواف والفواصل؛ عبوة مضادّة للكهرباء الساكنة مختومة بالفراغ مع حماية خارجية صلبة. خُزِّنها جافة (<40% RH) عند 10–30 °C؛ تجنّب المواد الكيميائية التي تحتوي HF.
ملاحظات
تتوفر تكوينات مخصصة (أنماط فتحات، طلاءات أو علامات إضافية) عند الطلب.
شهادات الامتثال (RoHS, ISO 9001) مرفقة مع الطلبات بالجملة
العربية 
English 
Español 
Français 
Deutsch 
Русский 
Português do Brasil 
日本語 
한국어 
繁體中文