اتصل بنا: +86 0518-87284110
أنابيب فرن من الكوارتز المنصهر لعمليات CVD في أشباه الموصلات
أنابيب أفران من الكوارتز المنصهر عالية النقاء مصممة هندسياً خصيصاً لمعالجة شرائح أشباه الموصلات المتطلبة، والتلدين عند درجات حرارة عالية، وCVD، وأفران الانتشار. هذه الأنابيب المتينة تتحمل حتى 1200°C (أقصى 1450°C)، وتقاوم الأحماض والغازات المؤكسِدة، وتوفر انخفاضًا في التمدد الحراري من أجل الاستقرار الهندسي في بيئات الفراغ أو الضغط المنخفض؛ التعديلات المخصصة متاحة.
مواصفات المواد
- المادة الأساسية: الكوارتز المنصهر (SiO₂ ≥ 99.9%)
- الكثافة 2.2 g/cm³
- الاستقرار الحراري مقاوم للصدمات الحرارية حتى 1200°C (استخدام مستمر)
الأبعاد
- القطر الخارجي: 415 mm / ±1.5 mm
- القطر الداخلي: 405 mm / ±1.0 mm
- سمك الجدار: 5 mm / ±0.5 mm
- الطول: 2300 mm / ±5 mm
المعلمات الفنية
- أقصى درجة حرارة التشغيل: 1200°C (ذروة قصيرة الأجل: 1450°C)
- مقاومة الضغط: يتحمل 1 atm (بيئات فراغية أو بيئات ذات ضغط منخفض)
- معامل التمدد الحراري: 0.55 × 10⁻⁶ /°C (20–1000°C)
- تشطيب السطح: ناعم، غير مسامي، مغسول حمضياً
الميزات الرئيسية
- نقاء فائق للعمليات الحساسة للتلوث
- مقاومة كيميائية ممتازة للأحماض والهالوجينات ومعظم الغازات المسببة للتآكل
- انخفاض التمدد الحراري يضمن ثبات الأبعاد
التطبيقات
- معالجة رقاقات أشباه الموصلات
- التلدين عند درجات حرارة عالية، أفران CVD أو الانتشار
- أبحاث المختبرات والصناعات البصرية
التعبئة والمناولة
- التغليف: صندوق خشبي مبطن بالفوم
- التخزين: احفظه جافًا، وتجنب الضوء الشمسي المباشر، وخزنه أفقيًا
ملاحظات
- تجنب الصدمات الميكانيكية أو تغيرات الحرارة السريعة (>200°C/min)
- تعديلات مخصصة (مثلاً، فِلَنْجات، طلاءات) متوفرة عند الطلب.
لدعم فني تفصيلي أو طلبات بالجملة، يرجى التواصل مع فريق الهندسة لدينا.
العربية 
English 
Español 
Français 
Deutsch 
Русский 
Português do Brasil 
日本語 
한국어 
繁體中文