قوارب الرقائق من الكوارتز المنصهر

قوارب الرقائق من الكوارتز المنصهر

The Quartz Cleaning Boat هو حامل عالي النقاء ومقاوم للتآكل صُمِّم لصناعات أشباه الموصلات، الكهروضوئية والإلكترونيات الدقيقة. يُستخدم لتثبيت الرقائق أو المكونات أثناء التنظيف الرطب/الجاف، الحفر الحمضي، أو العمليات عند درجات حرارة عالية.


نظرة عامة على المنتج

أواني وحوامل من الكوارتز المنصهر عالي النقاء ومقاوم للتآكل مصممة خصيصاً لصناعات أشباه الموصلات والطاقة الشمسية والإلكترونيات الدقيقة. مثالية لتنظيف الرقائق (RCA، SC1/SC2)، الحفر الحمضي، والتلدين/الانتشار عند درجات حرارة عالية وعمليات CVD/PVD، وتوفر هذه المكونات أسطحاً فائقة النظافة وخالية من التلوث، وباستقرار حراري ممتاز، وتلبي معايير SEMI F20/F47.

المواصفات الفنية

  • معامل: تفاصيل
  • المادة: الكوارتز المنصهر (SiO₂ ≥99.99%)
  • الأبعاد: قابل للتخصيص (المعيار: الطول 200–500 mm، العرض 50–150 mm، الارتفاع 20–50 mm)
  • درجة الحرارة القصوى: 1,200°C (استخدام مستمر) / 1,450°C (قصير الأجل)
  • تشطيب السطح: مصقول حمضياً، Ra ≤0.8 μm
  • النقاء: شوائب معدنية قليلة (Na، K، Fe، إلخ. <1 ppm)
  • الاستقرار الحراري: معامل التمدد الحراري (CTE): 0.55 ×10⁻⁶/°C (20–1,000°C)

الميزات الرئيسية

  • مقاومة كيميائية عالية: مقاوم لـ HF وHCl وHNO₃ وغيرها من المواد الكيميائية العدوانية
  • انخفاض التمدد الحراري: يقلل التشوه عند تغيّر درجات الحرارة السريعة
  • خالية من التلوث: سطح فائق النظافة يمنع الالتصاق بالجسيمات
  • تصميم مخصص: تباعد الفتحات، العمق، وهندسة خلايا القياس مصممة وفق احتياجات العميل

التطبيقات

  • تنظيف الرقائق في مقاعد رطبة (RCA, SC1/SC2)
  • عمليات الحمّام الحمضي (على سبيل المثال النقش BOE)
  • خطوات التلدين والانتشار عند درجات حرارة عالية
  • التعامل مع مكونات غرفة CVD/PVD

ضمان الجودة

  • الامتثال: يلبي معايير SEMI F20/F47
  • اختبار:
    ICP-MS لتحليل الشوائب
    قياس خشونة سطح باستخدام AFM
    اختبار الصدمة الحرارية (1,000°C ⇄ 25°C، 10 دورات)

التغليف والتخزين

  • معبّأ بشكل فردي في حاويات مضادّة للكهرباء الساكنة، آمنة لـ ESD
  • احفظه في بيئة جافة وخالية من الغبار (10–30°C)

احتياطات

  • تجنب التأثيرات الميكانيكية أو تغيّرات الحرارة المفاجئة (>10°C/min)
  • نظّف بماء منزوع الأيونات أو بالإيثانول قبل الاستخدام الأول

استفسار سريع

إذا رغبت في معرفة المزيد الكوارتز المنصهر أو تبحث عن حلول للكوارتز المنصهر؟ اتصل بنا للخدمات المهنية

متاحون على مدار الساعة 24/7 عبر البريد الإلكتروني أو الهاتف لمساعدتك في شراء منتجاتنا من زجاج الكوارتز، أو في الحلول، أو في مشكلات الاستخدام، أو لتقديم الدعم الفني.

الاسم (نسخة)
arالعربية